专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种多晶硅铸锭硅片清洗设备-CN201910042065.5有效
  • 李广森 - 安徽华顺半导体发展有限公司
  • 2019-01-17 - 2021-02-19 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种多晶硅铸锭硅片清洗设备,包括加工箱体、抛光杆、驱动机、转轴、内箱、集水槽、泵体、电机一、滑轮、传动轴、绳索、电机二、支架、高压喷头、滑块、齿条、齿轮和安装轴,转轴转动连接在加工箱体内部,且与驱动机的输出端传动连接,抛光杆设置在转轴上,内箱位于集水槽上方,两个滑轮对称转动连接在传动轴上,滑轮通过绳索与内箱固定连接,传动轴与电机一的输出端传动连接,齿条通过滑块滑动连接在加工箱体内部,齿轮通过安装轴转动连接在加工箱体内部,高压喷头通过支架与齿条固定连接,本发明结构优良,设计合理,操作简便,消除抛光死角,抛光清洗二合一,具有广泛地应用前景,创造性强。
  • 一种多晶铸锭硅片清洗设备

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