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[发明专利]并入包含碳的金属线的结构及形成包含碳的金属线的方法-CN201680007436.0有效
发明人： 安德烈亚·戈蒂;丹尼尔·F·吉利;因诺琴佐·托尔托雷利;恩里科·瓦雷西 -专利权人：美光科技公司
申请日： 2016-01-07 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： H01L45/00 文献下载
摘要：所揭示的技术大体上涉及集成电路，且更特定来说涉及并入例如用于存储器阵列的导电线的包含钨及碳的金属线的结构及形成例如用于存储器阵列的导电线的包含钨及碳的金属线的方法。在一个方面中，存储器装置包括在第一方向上延伸的下导电线及在第二方向上延伸且与所述下导电线交叉的上导电线，其中所述上及下导电线中的至少一者包括钨及碳。所述存储器装置另外包括插置于所述上与下导电线之间的相交点处的存储器单元堆叠。所述存储器单元堆叠包含在所述下导电线上方的第一有源元件及在所述第一有源元件上方的第二有源元件，其中所述第一及第二有源元件中的一者包括存储元件，且所述第一及第二有源元件的另一者包括选择器元件。所述存储器单元堆叠进一步包含插置于所述上及下导电线中的所述至少一者与所述第一及第二有源元件的较接近者之间的电极。
并入包含金属线结构形成方法

[发明专利]形成用于含硫属化物装置的电极-CN201110124687.6在审
发明人：达维德·埃尔贝塔;卡米洛·布雷索林;安德烈亚·戈蒂 -专利权人：美光科技公司
申请日： 2011-05-11 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01L45/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种形成用于含硫属化物装置的电极。相变存储器的电极可由金属与非金属的混合物形成，所述电极具有比金属原子少的氮原子。因此，在一些实施例中，所述电极的至少一部分与在金属氮化物中将会有的情况相比具有较少氮。作为两个实例，所述混合物可包含金属和氮或金属与硅。此种材料因与具有金属氮化物可能有的情况相比具有较低反应性而可具有对硫属化物的良好附着性。
形成用于含硫属化物装置电极