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[实用新型]分体式钼杆及设置分体式钼杆的单晶炉-CN202020190435.8有效
发明人：芮阳;马成;王忠保 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：一种分体式钼杆，包括支撑部分、连接部分，所述支撑部分为一个柱形杆状体，所述支撑部分的上端外环壁设有外螺纹，所述连接部分为一个柱形帽状体，所述连接部分的一端面设有沉孔，所述沉孔的内径与支撑部分的直径相等，在沉孔内环壁设有内螺纹，所述支撑部分的上端旋入连接部分的沉孔，以使支撑部分与连接部分螺纹连接，本实用新型中，将钼杆设计成分体式，一部分为连接部分，另一部分为支撑部分，在重复更换造成损坏的情况下，只需要更换连接部分，避免了整根钼部件有损坏后无法使用的状况，节省了成本，本实用新型还提供了设置分体式钼杆的单晶炉。
体式设置单晶炉

[实用新型]一种半导体晶锭端面垂直度测量装置-CN202020351189.X有效
发明人：赵延祥;历莉;刘波;程博;张晶 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：一种半导体晶锭端面垂直度测量装置，包括晶锭旋转放置机构、测量机构，本方案同时设置有晶锭旋转放置机构、测量机构，晶锭固定时，通过测量机构实现对其断面竖直方向及水平方向距离及垂直度的精确测量，该过程测量完成后，再通过晶锭旋转放置机构实现晶锭在晶锭旋转滚轮与晶锭旋转从动滚轮之间缝隙上的自由旋转，将晶锭旋转至不同位置，再重复对其断面进行距离及垂直度测量。通过以上方式，实现对晶锭断面不同位置、不同方向距离及垂直度的精确测量，显著减小测量偏差，整个测量过程中不需人工搬运晶锭，有效避免因人工搬运引起的晶锭碰撞等不良，大幅降低操作人员劳动强度。
一种半导体端面垂直测量装置

[实用新型]半导体晶棒直径测量辅助装置-CN202020193596.2有效
发明人：赵延祥;历莉;刘波;程博;王忠宝;张晶 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01B5/08 文献下载
摘要：一种半导体晶棒直径测量辅助装置，包括基座、旋转台、定位销、卡尺夹具，旋转台同轴安装在基座的上表面，旋转台与基座转动连接，定位销为柱状，定位销沿旋转台的周向布置，卡尺夹具为两个，利用该半导体晶棒直径测量辅助装置可以辅助作业人员使用游标卡尺测量晶棒，定位销的设置能保证晶棒的轴线与旋转台的轴线同轴，使得晶棒的轴线位置得以精准的确定，利用旋转台将晶棒转动不同角度进行测量，既能保证测量的准确度，而且能及时发现圆度不合格的晶棒，利用该半导体晶棒直径测量辅助装置，不需要人员翻动晶棒，避免了晶棒出现磕碰状况，进而导致晶棒崩边，或者造成隐裂的问题，测量误差小、测量时间短、生产效率高、过程能力高。
半导体直径测量辅助装置

[发明专利]晶棒接着后接着力测量设备-CN202010312356.4在审
发明人：赵延祥;刘波;程博;历莉;马玉怀 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：一种晶棒接着后接着力测量设备，包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，夹持装置设置在工作台的上方，测量装置设置在支撑装置的一侧，牵引绳的一端与测量装置固定连接，牵引绳的另一端与夹持装置的顶部固定连接；本发明通过工作台上的定位件可以使接着后的晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后的晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动，依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，然后利用测量装置牵拉牵引绳，使牵引绳拉动夹持装置，从而对接着后的晶棒进行接着力的测量，在使用的过程中，不仅操作方便，而且检测效率高。
接着测量设备

[实用新型]单晶炉底部断热材-CN201920917342.8有效
发明人：李小红;李磊;王忠保;闫龙;赵延祥;小暮康弘;王黎光;徐庆晧 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉底部断热材，属于单晶硅生产设备技术领域。包括断热材本体及设置于所述断热材本体上的若干防护套，所述防护套可拆卸安装于所述断热材本体上。本实用新型技术方案改变传统单晶炉底部断热材的一体式设计，通过将所述防护套可拆卸连接于所述断热材本体上，一方面，在将所述单晶炉底部断热材安装于单晶炉底座上时，安装准确快捷，操作友好。另一方面，在进行清扫时，减少清扫过程中对所述防护套的碰撞，减少所述防护套的损坏率，延长设备的使用寿命。再一方面，当所述防护套被损坏后，可仅仅对所述防护套进行更换，从而极大的降低了生产成本。
单晶炉底部断热材

[实用新型]拉晶炉掺杂装置-CN201920919555.4有效
发明人：李磊;李小红;芮阳;王忠保;闫龙;赵延祥;小暮康弘;王黎光;徐庆晧 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种拉晶炉掺杂装置，属于多晶硅或单晶硅生产技术领域。包括掺杂管、隔断阀及掺杂料加注组件，掺杂管一端固定连接拉晶炉台，掺杂料加注组件连接掺杂管另一端，隔断阀设置于掺杂管上，将掺杂料加注组件与拉晶炉台隔离。掺杂料加注组件包括掺杂料储槽及设置在掺杂料储槽上的惰性气体置换管件及稳压管件。掺杂作业时，关闭隔断阀，向掺杂料储槽中按理论计算量加入掺杂剂，向掺杂料储槽中通入氩气进行置换，置换完成后，打通稳压管件，保证掺杂剂通畅下料，操作简单，安全可靠。实现了独立加料，可根据实际生产需要，精准计算好掺杂剂的用量，确保拉制的晶棒的电阻率，保证拉晶合格率。
拉晶炉掺杂装置

[实用新型]单晶炉二次加料装置-CN201920915941.6有效
发明人：闫龙;小暮康弘;曹启刚;王黎光 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉二次加料装置，属于单晶硅生产设备技术领域。包括钼杆、石英套管、石英椎盖、石英筒体及固定架，石英套管套接于钼杆外侧，石英椎盖固定连接钼杆的一端，石英筒体套接于石英套管的外侧，石英筒体的内径小于石英椎盖的最大椎径，且石英筒体的底端与石英椎盖的外壁充分接触，固定架设置于石英筒体远离石英椎盖的一端，且连接石英套管。固定架的中心处贯穿开设有钼杆导向孔，钼杆贯穿通过所述钼杆导向孔，并能够相对钼杆导向孔滑动。石英筒体与石英套管之间形成的无阻挡物的料腔，从而减少下料阻力。由于石英套管相对石英套筒不固定，在二次加料过程中，石英套管随钼杆位移，金属钼暴露在原料中，造成原料的金属污染。
单晶炉二次加料装置

[实用新型]单晶炉二次加料器辅助小车-CN201920915943.5有效
发明人：赵延祥;历莉;徐慶晧;王黎光 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉二次加料器辅助小车，属于单晶硅生产设备技术领域。包括小车架体及二次加料器承载组件，所述二次加料器承载组件安装于所述小车架体上，且所述二次加料器承载组件能够相对所述小车架体转动。在进行二次加料的过程中，将单晶炉二次加料器安装于所述二次加料器承载组件上，转动所述二次加料器承载组件，带动单晶炉二次加料器旋转，实现单晶炉二次加料器快捷的倾斜或直立，操作方便，节省人力。且由于所述二次加料器承载组件将单晶炉二次加料器相对固定，所以使得在二次加料过程中，单晶炉二次加料器在倾斜或直立的过程中，受到支撑力的作用，保持相对稳定，降低翻倒的安全风险。
单晶炉二次料器辅助小车

[实用新型]有利于增强保温效果的热屏-CN201920916571.8有效
发明人：王忠保;闫龙;徐慶晧;小暮康弘;王黎光 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种有利于增强保温效果的热屏，属于直拉单晶棒生产设备技术领域。一种有利于增强保温效果的热屏，包括内热屏、外热屏及设置于所述内热屏与所述外热屏之间的保温层，所述外热屏的侧壁平行于所述内热屏的中轴线。将传统的具有一定倾斜角的外热屏，设计改良成具有垂直壁的外热屏，一方面有利于设计加工，另一方面，直壁的外热屏与内热屏中间，尤其是靠近热屏的底部，具有更大的保温空间，增加了热屏的保温性能，降低了热屏的热量损耗，有利于降低单晶晶棒的生产能耗。
有利于增强保温效果

[实用新型]单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置-CN201920808706.9有效
发明人：赵延祥 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： G01B5/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，属于单晶硅生产技术领域。包括轴承间隙承接轴及检测组件，检测组件传动连接轴承间隙承接轴。轴承间隙承接轴的一端用于固定连接于单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊上。检测组件包括传动轴及测量齿轮，传动轴的一端传动连接轴承间隙承接轴，且另一端固定连接于测量齿轮的中心，测量齿轮上设置有指示标志，且测量齿轮外圆周围设置有刻度。轴承间隙承接轴与单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊同步旋转，带动传动轴旋转，从而带动测量齿轮转动，进而通过读取测量齿轮的旋转角度，直接判断单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊的旋转角度。结构简单，操作方便，能够实时在线检测单晶硅棒滚磨机轴承间隙。
测量齿轮轴承间隙单晶硅棒承接轴滚磨机主动旋转辊检测组件传动轴传动连接读取实时在线检测轴承间隙测量本实用新型单晶硅生产同步旋转指示标志外圆转动

[实用新型]晶锭纵向切割辅助装置-CN201920166462.9有效
发明人：赵延祥 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶锭纵向切割辅助装置，属于单晶硅晶棒加工设备技术领域。包括基座、晶锭支撑平台及进给量调整组件，进给量调整组件包括进给平台及调节丝杠，进给平台滑动连接于基座上，调节丝杠沿水平方向贯穿通过进给平台，且一端转动连接于基座上，晶锭支撑平台固定于进给平台的一端；调节丝杠螺纹连接进给平台，转动调节丝杠，带动进给平台前后移动。进行晶棒纵向切割作业时，将基座固定于晶棒截割机上，将单晶硅晶棒直立固定于晶锭支撑平台上，通过转动调节丝杠，使得进给平台主动进给，完成对单晶硅晶棒的纵向切割，提高纵向切割的成功率。同时解决了机台进给对刀导致的硅料损耗，样片平行度较差，垂直度较差的问题。
进给平台纵向切割晶棒晶锭单晶硅调节丝杠支撑平台进给量调整辅助装置转动调节丝杠机台本实用新型滑动连接加工设备螺纹连接前后移动直立固定主动进给转动连接组件包括垂直度平行度硅料截割进给种晶成功率贯穿

[实用新型]晶棒切片后清洗装置-CN201920171603.6有效
发明人：赵延祥 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶棒切片后清洗装置，属于单晶硅生产加工设备技术领域。包括固定组件及加压清洗组件，加压清洗组件包括左冲洗箱与右冲洗箱，左冲洗箱开设有右弧形卡槽，右冲洗箱上开设有左弧形卡槽，右弧形卡槽的弧面上沿轴向开设有至少一条右冲洗线缝，左弧形卡槽的弧面上沿轴向开设有至少一条左冲洗线缝，左冲洗箱与右冲洗箱内的清洗介质在压力作用下由右冲洗线缝与左冲洗线缝喷出，对卡合于右弧形卡槽与所述左弧形卡槽之间的切片后的晶棒进行冲洗。该装置能够一次性完成对整根晶棒的冲洗，清洗效率高。高压清洗介质能够充分进入到切片后的晶棒的线缝中，对切片进行冲洗，清洗效果佳。解决了切片距离小，液相传质效果弱的技术问题。
冲洗弧形卡槽切片冲洗箱线缝晶棒清洗装置清洗组件轴向加压本实用新型单晶硅生产一次性完成高压清洗固定组件加工设备清洗介质清洗效果清洗效率卡合喷出种晶

[实用新型]单晶检测样片清洗装置-CN201821642437.5有效
发明人：郭超;赵延祥;芮阳;王忠保;李磊;李英涛 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-10 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：一种单晶检测样片清洗装置，包括第一槽体、工作台、样片篮筐、驱动机构，在第一槽体内固定安装工作台，样片篮筐固设于工作台上，驱动机构包括偏心轮，偏心轮安装于样片篮筐底部开口的中下方，本实用新型采用偏心结构的偏心轮周期转动驱动单晶样片沿第一隔板在样片篮筐内上下运动，达到清洗的目的，清洗效率高，清洗效果好，偏心轮周期转动，使第一槽体腐蚀液涌动，进一步强化清洗效果，偏心轮周期的驱动单晶样片沿第一隔板上下运动，使得单晶样片不会始终处于一个位置，反应生成二氧化氮气体不会在单晶样片表面形成气流纹路或凹痕，采用机械清洗，重复性好，避免了手工清洗因工人手法不一而导致的测试数据的波动，且大大降低了工人清洗劳动强度。
偏心轮单晶篮筐第一槽隔板清洗单晶检测清洗效果清洗装置驱动机构上下运动周期转动工作台二氧化氮气体纹路本实用新型驱动测试数据底部开口机械清洗偏心结构清洗效率样片表面腐蚀液凹痕固设体内

[实用新型]石墨坩埚吊装工装-CN201821642435.6有效
发明人：李磊 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-10 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B66C1/44 文献下载
摘要：一种石墨坩埚吊装工装，该工装包括第一连接杆、支撑杆、抓紧机构，抓紧机构包括吊杆、滑套、拉杆、销杆、基座，所述吊杆的上端与支撑杆的自由端铰接，滑套套装在吊杆上，拉杆的一端与支撑杆铰接，拉杆的另一端与滑套铰接，基座包括连接部、支撑部，支撑部的截面为L形，本实用新型中，支撑杆、吊杆、拉杆、滑套形成的曲柄滑块机构能调节支撑杆与吊杆之间的角度，以张开或收拢吊杆，满足多种规格石墨坩埚的吊装，支撑杆、吊杆、拉杆、滑套形成的曲柄滑块机构成三角形结构，非常稳固，可以保证石墨坩埚不脱落，支撑部“L”形设计，使石墨坩埚由支撑部的水平段支撑，避免了采用夹持方式造成的石墨坩埚损坏，且不存在石墨坩埚滑落的危险。
石墨坩埚吊杆支撑杆拉杆滑套工装铰接支撑吊装抓紧机构曲柄滑块机构本实用新型三角形结构曲柄滑块连接杆水平段自由端上端收拢滑落夹持销杆张开稳固保证

[实用新型]掺杂剂掺杂装置-CN201821641063.5有效
发明人：芮阳 -专利权人： 宁夏银和半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-10 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，本实用新型中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。
掺杂支撑杆工装掺杂装置掺杂剂籽晶夹头籽晶连接机构装入吊装本实用新型可拆卸连接吊钩防止污染分体设计工作效率局部损坏螺纹连接悬挂固定整体更换重复操作拉晶炉内环境籽晶夹钼材料插装取下通孔重锤磨损保证

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