“姜山亮一”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质-CN201811240824.0有效
发明人：田口明広;姜山亮一 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。
气化系统存储程序介质

[发明专利]气化装置和气化系统-CN201880011617.X在审
发明人：田口明広;姜山亮一 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： B01J7/00 文献下载
摘要：本发明提供气化装置和气化系统。为了能够高精度地检测容器内的液体材料的液面，气化装置包括收容液体材料(X)的容器(10)、加热容器(10)内的液体材料(X)的加热器(30)、以及检测容器(10)内的液体材料的液面的液面传感器(20)，从上方观察容器(10)内时，容器(10)内形成有液体材料(X)气化的气化区域(S1)以及与气化区域(S1)不同的液面稳定区域(S2)，液面传感器(20)检测液面稳定区域(S2)中的液体材料(X)的液面。
液体材料气化装置液面传感器气化区域气化系统液面加热器观察容器加热容器稳定区域液面稳定检测液气化的检测收容