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[发明专利]一种电极加工用喷涂设备-CN202310401103.8在审
发明人：杨斌;李敏成;姜勇鹤 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-04-15 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本申请涉及一种电极加工用喷涂设备，涉及喷涂设备技术领域，为了解决现有技术中工件表面的涂层喷涂不够均匀，无法对工件形成良好的保护的问题。其包括喷涂枪，喷涂枪内部设置有进气通道，进气通道内设置有阴极导向柱，喷涂枪的枪口处内壁设置有阳极板，阳极板开设有出气口，出气口表面设置有阳极导向罩，阴极导向柱插设入阳极导向罩内，阴极导向柱与阳极导向罩之间的间隙供等离子气体穿过，喷涂枪的枪口外壁套设有上料管，上料管内壁开设有送粉嘴。本申请通过将稀土制成粉末，并通过高温的等离子气流将粉末进一步雾化，从而使得工件表面能够更加全面地覆盖精密涂层，以提高精密涂层的保护能力的效果。
一种电极工用喷涂设备

[发明专利]一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺-CN202310174387.1在审
发明人：杨斌;王贝;姜勇鹤;章荣彬 -专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及清洗设备技术领域，具体公开了一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺，包括清洗箱；清洗箱上设有容纳处理液的第一腔体；第一腔体内侧壁上固接有淋喷管；淋喷管外侧壁上固接有喷头；清洗箱顶部设置有顶板；顶板底面设置有电推杆；电推杆安装在清洗箱顶面上，电推杆输出端与顶板底面连接；顶板侧壁上连接有连接板；连接板端部固接有可伸入第一腔体内的垫板；垫板底面设置有夹持组件；清洗箱外侧壁上设置有可将第一腔体内的处理液输送至淋喷管内的输液机构；通过浸洗和淋喷冲洗相结合的方式对掩膜版表面的膜层进行去除，降低脱落的杂质再次附着在掩膜版表面上造成二次污染的可能性。
一种电极工用清洗设备工艺

[实用新型]一种可对再生圆晶片预处理的清洗干燥一体设备-CN202121546588.2有效
发明人： 姜勇鹤;辛长林 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可对再生圆晶片预处理的清洗干燥一体设备，涉及再生圆晶片的清洗干燥一体设备领域，包括装置本体，所述装置本体顶部的正中固定连接有水箱，管槽的底部设置第一齿轮，储水块的表面开设有第一孔槽，两个第二齿轮的正中对称开设有圆槽，两个圆槽的右侧设置有第三齿轮，第三齿轮顶部的正中固定连接有转动轴。本实用新型的一种可对再生圆晶片预处理的清洗干燥一体设备，通过设置的第一齿轮，使得第三齿轮在转动时，会与第一齿轮相啮合，从而带动第一齿轮进行转动，第一齿轮转动时，可带动储水块进行转动，通过设置的第一孔槽，在储水块进行转动时，会将其内腔的水源甩至装置本体的内腔，从而对再生圆晶片进行清洗。
一种再生晶片预处理清洗干燥一体设备

[实用新型]一种节能型半导体涂层再生用喷砂机-CN202121617686.0有效
发明人：刘洪刚;姜勇鹤 -专利权人：安徽高芯众科半导体有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B24C3/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种节能型半导体涂层再生用喷砂机，包括喷砂机外壳和喷砂机壳盖，所述喷砂机壳盖设置于喷砂机外壳的一侧，所述喷砂机外壳内设有安装盘，所述安装盘的上方设有旋转盘，所述旋转盘和安装盘之间通过驱动电机连接，所述旋转盘的上方设有固定转盘，所述安装盘的顶部开设有环形凹槽，所述旋转盘的顶部开设有两个通孔，所述通孔内设有固定柱，所述固定柱的底端延伸至旋转盘的下方。本实用新型所述的一种节能型半导体涂层再生用喷砂机，属于半导体加工设备技术领域，增加了固定转盘旋转时的稳定性，以及不需要手动驱动固定转盘转动，便于实际操作，可以根据实际需求，调节固定转盘的高度。
一种节能型半导体涂层再生喷砂机