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[发明专利]一种热电材料塞贝克系数的测量装置和方法-CN202010918916.0有效
发明人：李硕;任玲玲;姚雅萱 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种热电材料塞贝克系数的测量装置和方法，该装置包括：加热炉，所述加热炉为气密封炉体；样品台，所述样品台包括冷端样品台和热端样品台，热电样品的一端固定于所述冷端样品台，所述热电样品的另一端固定于所述热端样品台；加热器，所述加热器安装于所述热端样品台；热电偶裸丝，所述热电偶裸丝包括第一热电偶裸丝和第二热电偶裸丝，所述第一热电偶裸丝套设于第一陶瓷管中，且所述第一热电偶裸丝的探头外露于所述第一陶瓷管并压紧于所述热电样品的表面；所述第二热电偶裸丝套设于第二陶瓷管中，且所述第二热电偶裸丝的探头外露于所述第二陶瓷管并压紧于所述热电样品的表面。其解决了塞贝克系数测量准确性较差的技术问题。
一种热电材料贝克系数测量装置方法

[发明专利]一种高质量压电薄膜退火降温方法和制备方法-CN202110702230.2在审
发明人：张素伟;任玲玲;姚雅萱;金森林;李硕 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L41/33 文献下载
摘要：本发明实施例涉及压电材料技术领域，具体涉及一种高质量压电薄膜退火降温方法和制备方法。所述退火降温方法为在压电薄膜退火后包括第一段降温过程和第二段降温过程；所述第一段降温过程为在退火炉内以降温速率为0.5‑1℃/s降温至第一温度；所述第二段降温过程为在退火炉内以2‑3℃/s的降温速率从第一温度降温至第二温度。本发明通过控制退火后降温段数的降温速率、降温温度以及降温时长，使压电薄膜与衬底间由于热膨胀系数不同导致薄膜内部产生的应力得到缓慢释放，减少薄膜内部的裂纹，提升薄膜质量，进而降低漏电流，从而提升其电学性能。
一种质量压电薄膜退火降温方法制备