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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种激光掩膜投影精细加工系统-CN200510119100.7无效
发明人：李雨田;谢冀江;李维;卜宪章;卡丹;奥列斯卡 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2005-12-23 - 公布日： 2007-01-17 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：一种激光掩膜投影精细加工系统，属于激光加工技术领域中涉及的加工系统。解决的技术问题是：提供一种激光掩膜投影精细加工系统。技术方案：包括激光器、扩束器、扫描器、光吸收器、掩膜、成像透镜、被加工件、工作台。在激光束的光轴上，置有扩束器、扫描器。扫描器中的X轴反射镜与光轴成45°角安装，能沿光轴方向移动，在折反的激光束传播方向上置有Y轴反射镜，Y轴反射镜与水平面夹角为45°，Y轴反射镜能沿Y轴移动，在Y轴反射镜反射的激光束的光轴上依次置有掩膜、成像透镜、被加工件；掩膜与光轴之间的夹角采用90°或45°；成像透镜与光轴垂直安装，被加工件的加工表面置于成像透镜的像平面上，被加工件置于工作台上。
一种激光投影精细加工系统

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