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[发明专利]B₂F₄制造方法-CN201610452337.5有效
发明人：奥列格·比尔;爱德华·E·琼斯;奇兰吉菲·皮迪;约瑟夫·D·斯威尼 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C01B35/06 文献下载
摘要：本申请提供一种B₂F₄制造方法。具体地，提供一种用于由固体反应物材料制备化合物或中间体的反应系统和方法。本发明形成B₂F₄的方法包括：(i)使BF₃气体和含硼固体反应，以形成包含BF和未反应的BF₃气体的第一气态混合物；(ii)在有效冷凝第一气态混合物的温度和压力条件下冷却第一气态混合物，以形成第一冷凝产物；(iii)使载气流过反应器并使第一冷凝产物挥发，以形成包含B₂F₄和BF₃的第二气态混合物；(iv)过滤第二气态混合物，以除去颗粒；以及(v)回收来自第二气态混合物的B₂F₄。
sub 制造方法

[发明专利]B2F4制造方法-CN201280060937.7有效
发明人：奥列格·比尔;爱德华·E·琼斯;奇兰吉菲·皮迪;约瑟夫·D·斯威尼 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： C01B35/06 文献下载
摘要：提供一种用于由固体反应物材料制备化合物或中间体的反应系统和方法。在一个特定方面中，提供用于制备用作用于基板中硼的离子注入的前体的含硼前体化合物的反应系统和方法。在另一个特定方面中，提供用于制造硼前体，如B2F4的反应器系统和方法。
sub 制造方法