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[发明专利]输送载体、蒸镀装置以及电子器件的制造装置-CN201911279985.5有效
发明人：小川滋之;柴田匠;塚本健太;秋田和夫 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及输送载体、蒸镀装置以及电子器件的制造装置。输送载体能够同时保持掩模和基板，蒸镀装置能够高精度地保持掩模和基板的对准并进行蒸镀。输送载体具备能够保持蒸镀对象的基板的载体主体，一边保持所述基板一边在蒸镀装置内进行输送，其特征在于，所述载体主体具备磁吸附构件，所述磁吸附构件在隔着所述基板对掩模进行磁吸附而使所述掩模紧贴于所述基板的成膜面的状态下进行保持，所述掩模遮挡所述基板的非蒸镀区域。
输送载体装置以及电子器件制造

[发明专利]电磁波区分设备、电磁波区分方法以及电磁波区分程序-CN201110209446.1有效
发明人： 塚本健太;楠本学;夏目尚纪 -专利权人：日本电气株式会社
申请日： 2011-07-25 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： H04B17/00 文献下载
摘要：根据本发明的一种电磁波区分设备区分电磁波，且包括：获取部、特征量计算部、相似度计算部、分类部、区分部、输出部以及存储部。所述获取部接收具有预定频率的通信信号，以及每预定时间对所述通信信号的波形数据进行采样，以获得每一预定时间的采样数据。所述特征量计算部基于每一预定时间的所述采样数据，计算每一预定时间的振幅特征量。所述相似度计算部计算相对于每一预定时间的所述振幅特征量的相似度。所述分类部基于所述相似度，将每一预定时间的所述通信信号分类为簇，以获得每一预定时间的所述通信信号的簇分析结果。所述区分部基于每一预定时间的所述通信信号的簇分析结果，针对所述簇中的每一个，区分构成一个簇的通信信号，以获得区分结果。所述输出部输出所述区分结果。所述存储部存储所述振幅特征量、所述相似度、所述簇分析结果以及所述区分结果。
电磁波区分设备方法以及程序