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[发明专利]基板异物检查装置以及基板异物检查方法-CN202180048866.8在审
发明人： 在间尚洋;菊池和义;大山刚;坂井田宪彦 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：能够更简便地非常高精度地进行异物的检测。针对具有从输入的图像数据中提取特征量的编码部、以及从该特征量重构图像数据的解码部的神经网络，使用仅将无异物的印刷基板涉及的图像数据作为学习数据进行学习而生成的AI模型(100)，获取将由相机(32D)得到的图像数据作为原始图像数据输入AI模型(100)而重构的图像数据作为重构图像数据。对原始图像数据和重构图像数据进行比较，基于比较结果来判定印刷基板中有无异物。由于不需要准备用于比较的主基板，因此异物检查变得简便。另外，通过在比较的两图像数据中使印刷基板的形状、外观分别变得大致相同等，能够非常高精度地进行异物的检测。
异物检查装置以及方法

[发明专利]三维测定装置-CN200410080633.4有效
发明人：梅村信行;在间尚洋;山崎耕平 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2004-09-29 - 公布日： 2005-05-11 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种三维测定装置，该三维测定装置可在测定对象物的三维形状时，通过适当地在上述对象物内设定高度基准等方式，实现更加正确地测定。通过照明器(10)，对印刷形成有膏状钎焊料的印刷电路衬底(1)，照射多个光图案。从该照明器(10)照射的光为紫外线，其由印刷电路衬底(1)的膏状钎焊料、抗蚀膜等的表面反射。该反射光的紫外线通过CCD照相机(11)拍摄，由此，获得图像数据。该图像数据通过控制器(12)进行处理，以抗蚀膜的表面为高度基准，计算该膏状钎焊料的高度、量等，判断膏状钎焊料的印刷状态是否良好。
三维测定装置