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[发明专利]液体吐出头用喷嘴板的制造方法、液体吐出头用喷嘴板及液体吐出头-CN200780031677.X有效
发明人：梁田笃郎;土井勋 -专利权人：柯尼卡美能达控股株式会社
申请日： 2007-08-17 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： B41J2/135 文献下载
摘要：本发明涉及一种液体吐出头用喷嘴板的制造方法、液体吐出头用喷嘴板及液体吐出头。提供一种液体能够从吐出孔没有不均地良好吐出的廉价液体吐出头用喷嘴板。按以下记述顺序进行下述各工序：准备基板，在由Si构成的第1基材的一侧设Si各向异性干蚀刻时蚀刻速度慢于Si的第2基材，构成基板；在第2基材的表面形成成为第2蚀刻掩模的膜，在为第2蚀刻掩模的膜上，形成具有小径部开口形状的第2蚀刻掩模图案；进行蚀刻直至贯通第2基材为止；在第1基材的表面形成成为第1蚀刻掩模的膜；在为第1蚀刻掩模的膜上，形成具有大径部开口形状的第1蚀刻掩模图案；进行Si各向异性干蚀刻直至贯通第1基材为止。
液体吐出喷嘴制造方法

[发明专利]液体排出装置-CN200580024953.0无效
发明人：上野修敬;西泰男;石田畅久;土井勋 -专利权人：柯尼卡美能达控股株式会社
申请日： 2005-07-20 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： B05B5/025 文献下载
摘要：本发明的液体排出装置(20)将带电溶液的液滴排出到基材(K)；其中：具有液体排出头(26)、溶液供给单元(29)、及排出电压施加单元(25)；该液体排出头(26)从内径100μm以下的喷嘴(21)的前端部(21a)排出液滴；该溶液供给单元(29)将溶液供给到喷嘴(21)内；该排出电压施加单元(25)将排出电压施加到喷嘴(21)内的溶液。在液体排出装置(20)中，喷嘴(21)从与基材对置的喷嘴板(26c)上的喷嘴面(26e)朝液滴的排出方向突出；喷嘴(21)的高度在30μm以下。
液体排出装置