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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]半导体制造装置、半导体制造装置的处理执行方法-CN202211434393.8在审
发明人：藤井洋路;国枝誉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G06Q10/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于抑制将应作为操作对象的半导体制造装置搞错。本发明提供一种半导体制造装置，其具有：执行指示接受部，其接受对半导体制造装置进行的规定处理的执行指示，其中，所述规定处理是关于所述半导体制造装置的运转控制的处理；识别信息接受部，其接受所述半导体制造装置的识别信息的输入；和执行部，在预先设定于所述半导体制造装置中的所述半导体制造装置的识别信息与所述识别信息接受部所接受的所述半导体制造装置的识别信息相同的情况下，响应所述规定处理的执行指示来执行所述规定处理。
半导体制造装置处理执行方法

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