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[实用新型]转动装置-CN201920565302.1有效
发明人： 唐国樑;吴建宗 -专利权人：周业投资股份有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B23Q7/02 文献下载
摘要：一种转动装置，适用于带动工件转动，并包含驱动单元，及数个转动单元。该驱动单元包括直立的驱动轴，以及结合在该驱动轴顶端的第一齿轮。所述转动单元彼此间隔地围绕该驱动轴，每一转动单元包括适用于承载该工件的滚筒，所述转动单元的其中至少一个还包括穿过该滚筒的从动轴，以及安装在该从动轴一端且用于与该第一齿轮啮合的第二齿轮。该第二齿轮能受到该第一齿轮带动而将该驱动轴的动力传送给该从动轴，使该从动轴带动该滚筒转动。通过驱动单元与转动单元搭配，可带动该工件转动，方便加工该工件。
转动单元从动轴驱动轴驱动单元齿轮工件转动滚筒齿轮带动齿轮啮合滚筒转动转动装置动力传直立搭配承载穿过加工

[发明专利]蚀刻设备的反应槽装置的上电极-CN201210230622.4无效
发明人：周峙丞;唐国樑;吴建德 -专利权人：周业投资股份有限公司
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：一种蚀刻设备的反应槽装置的上电极，包含一个电极板体，以及一个陶瓷熔射膜。该电极板体包括一个本体层、一个设置在该本体层上的缓冲层，以及数个上下贯穿该本体层与该缓冲层的通气孔。通过该缓冲层缓冲该本体层与该陶瓷熔射膜的热膨胀系数的差值，且该缓冲层与该陶瓷熔射膜间具有良好的结合力，因此两者间可紧密地结合而不易剥落。同时该缓冲层与该陶瓷熔射膜都具有抗腐蚀功效，以提供该本体层双重保护，所以该电极板体可重复使用，并能降低设备成本。
蚀刻设备反应装置电极