专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基于远心光学系统的反射式傅里叶叠层成像装置及方法-CN202210212298.7在审
  • 刘哲;于伯旋;贺雨洁;李成创;唐佳爱;刘硕 - 西京学院
  • 2022-03-04 - 2023-02-03 - G02B21/36
  • 本发明公开基于远心光学系统的反射式傅里叶叠层成像装置及方法,其装置包括双远心镜头、工业相机、多角度环形光源和载物台,载物台顶端固定有支撑架,工业相机和多角度环形光源均安装于支撑架上,其成像方法包括采集不同反射角度的图像、图像的畸变校正、图像降噪、图像增强和凸优化迭代频域合成;本发明综合了远心光学系统的低畸变和超宽景深、傅里叶叠层成像的大视场和高分辨率的特点,有效解决了晶圆表面缺陷检测要进行多次成像难题,能够一次性快速高效地实现对晶圆表面缺陷进行检测,检测平台结构简单、灵活,使用方便,可实现芯片晶圆表面缺陷的的高精度、大视场、宽景深、高效率的检测。
  • 基于光学系统反射式傅里叶叠层成像装置方法

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