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[发明专利]热效应自补偿装置与其补偿方法-CN201010106402.1无效
发明人：黄荣山;辜煜夫;颜毅广;关恕;吴光钟;林世明;林品延 -专利权人：黄荣山
申请日： 2010-01-26 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：一种热效应自补偿装置包含基板、埋藏压阻、及微悬臂梁。该埋藏压阻及该微悬臂梁形成于该基板上。热效应自补偿系统包含该埋藏压阻及该微悬臂梁，该埋藏压阻具有第一压阻，该微悬臂梁具有第二压阻，该热效应自补偿系统藉由该第一压阻的温度对压阻关系与该第二压阻的温度对压阻关系进行温度补偿。
热效应补偿装置与其方法

[发明专利]用以感测化学物质的微型传感器-CN200710147392.4无效
发明人：黄荣山;李世光;李世元;吴光钟;颜毅广 -专利权人：黄荣山
申请日： 2007-09-07 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明提供一种用以感测一化学物质的微型传感器。本发明的微型传感器包含一基板、一微悬臂梁、一电极结构以及一测量组件。所述微悬臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化学物质的一捕捉面。所述电极结构用以提供一电场，所述电场设置成辅助所述捕捉面捕捉所述化学物质。所述测量组件耦接至所述微悬臂梁，所述测量组件用以测量由被捕捉的所述化学物质引发所述微悬臂梁的一机械性质的一变化量，并且将所述变化量转译成与所述化学物质相关的一信息。
用以化学物质微型传感器