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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202211726320.6在审
发明人：谢林;吕烨柠;汪亚运;冉兵;邓晓国 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽包括内槽、外槽以及连通所述外槽和所述内槽的循环管路，所述内槽的底部和外侧设有加热器；还包括用于补充硫酸的硫酸管路以及用于补充双氧水的双氧水管路，所述双氧水管路设置在所述循环管路上。本发明通过将双氧水管路设置在循环管路上，避免从内槽上方补充进来的双氧水会发生快速蒸发或分解，从而减少了双氧水的消耗，降低了生产成本。
一种清洗装置

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共 1 条

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