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- [实用新型]晶圆储存装置-CN202222621100.9有效
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林宇轩;杨浩渝;吕忠宪;张任玮;林柏彣;吕呈祥;佐佐木大辅
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乐华科技股份有限公司
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2022-09-30
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2023-03-17
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H01L21/673
- 本实用新型提供一种晶圆储存装置，包括一晶圆存放组件，晶圆存放组件包含有定位柱、上盖件、下承载件、及晶圆承载件，晶圆存放组件的左右两侧分别设有左侧夹持组件及右侧夹持组件，下承载件或左侧夹持组件及右侧夹持组件连接有一纵向带动机构，其中左侧夹持组件包含有左侧支撑件、左上夹爪、及左下夹爪，右侧夹持组件包含有右侧支撑件、右上夹爪、及右下夹爪，左侧夹持组件会经由一左横向带动机构所带动，而右侧夹持组件会经由一右横向带动机构所带动，借此夹持晶圆存放组件中的上盖件或各晶圆承载件，以配合纵向带动机构的带动方式，来产生供使用者取放晶圆片的空间，同时配合晶圆检测机构来检测晶圆片的状况，以提高使用上的方便性与效率。
- 储存装置
- [发明专利]气密性检测装置-CN202011535226.3在审
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吕忠宪;李璐;陈正士;吕炎州
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深圳市裕展精密科技有限公司
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2020-12-22
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2021-03-16
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G01M3/26
- 本申请公开了一种气密性检测装置，用于检测工件的气密性，包括：密封件，罩设于所述工件表面的待检区域；气密件，设有容纳空间，所述容纳空间连通所述密封件至所述待检区域；充气组件，与所述气密件连接，并连通所述容纳空间；测压件，用于检测所述容纳空间内的气压值；处理器，与所述充气组件耦接，以控制所述充气组件向所述容纳空间充入气体；与测压件耦接，根据所述气压值在预设时间内的变化，计算气体的泄露量，以判断所述待检区域的气密性。本申请可针对工件表面的待检区域进行检测，准确地检测待检区域的气密性，判断哪个检测点位存在泄漏；并且由于在检测过程中待检区域处形成的密封气室的空间较小，检测耗时较短，检测效率较高。
- 气密性检测装置
- [实用新型]取像装置-CN201922061017.9有效
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芈绍桂;王少英;吕忠宪;吕炎州;陈柏文
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河南裕展精密科技有限公司
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2019-11-25
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2020-09-29
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G01N21/88
- 本申请提供了一种取像装置，包括：定位机构，包括定位件和旋转件，所述定位件用于定位产品；所述旋转件与所述定位件连接，用于带动所述定位件及所述产品转动；两个取像模组，每一所述取像模组均包括光源和取像单元，所述光源与所述取像单元同轴设置，两个所述取像模组的取像单元的成像方向不平行；和运动机构，所述运动机构包括两运动组件，两个所述运动组件连接于两个所述取像模组和所述定位机构三者中的至少一者连接；所述运动机构包括两运动组件，每一所述运动组件的运动方向与至少一所述取像单元的成像方向不平行。本申请的取像装置的取像过程较为简单，而且取像耗时短，效率较高。
- 装置
- [实用新型]双主轴线切割机-CN201320262046.1有效
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张瑞成;郑松能;吕忠宪;许升志
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精呈科技股份有限公司
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2013-05-14
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2013-10-16
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B23H7/02
- 本实用新型涉及一种双主轴线切割机，其包括一工作水池及数个线切割主轴机构。工作水池提供工件容置空间。各线切割主轴机构，对称设置在工作水池预设位置。各控制器电连接或信号连接各线切割主轴机构，使各线切割主轴机构对工作水池内的工件同步进行加工，且各控制器在各线切割主轴机构到达相邻预设的距离时，其中一个线切割主轴机构执行一回避动作，避免各线切割主轴机构发生碰撞。通过数个线切割主轴机构来同时对工件进行加工，除可减半加工时间外，更可延长各线切割主轴机构停机保养的次数。
- 主轴切割机
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