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[发明专利]抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法-CN202310820324.9有效
发明人：杨玉恒;桂查明 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本发明提供抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法，抛光台的上抛光盘包括至少一个第一定位槽，下抛光盘包括至少一个第一定位件，抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，第一环形件可拆卸环设于上抛光盘周向，任一第一定位组件与第一环形件连接，第二环形件可拆卸环设于下抛光盘周向，任一第二定位组件与第二环形件连接，任一第一定位组件包括第二定位件，任一第二定位组件包括第三定位件，第二定位件与对应的第三定位件对准连接时，任一第一定位件嵌设于对应的第一定位槽内；本发明中抛光台辅助装配治具能有效实现上抛光盘与下抛光盘的精准装配，安装过程安全、可靠、快捷。
抛光辅助装配方法

[发明专利]一种利用测试掩模版检测光刻机掩模版承载台扭曲的方法-CN202311079011.9在审
发明人：王俊峰 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2023-08-25 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用测试掩模版检测光刻机掩模版承载台扭曲的方法，涉及光刻机校准和检修技术领域。本发明采用的测试掩模共设置有8个对准标记，可以实现测试掩模版90°、180°的旋转对准，通过0°和180°两次测量，并对测量后标记点坐标进行加和处理，可以过滤掉测试掩模版自身扭曲变形产生的影响，从而精准的对掩模版承载台进行校准和检修。
一种利用测试模版检测光刻承载扭曲方法

[外观设计]半导体设备供液器-CN202230744649.X有效
发明人：罗保兴;钟贵平;金凡奎;王富斌;杨利斌 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体设备供液器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于半导体设备的供液。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
半导体设备供液器

[外观设计]晶圆搬运手指-CN202230859397.5有效
发明人：张延权;王利;莫科伟 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆搬运手指。2.本外观设计产品的用途：用于转运晶圆。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
搬运手指

[外观设计]单通道冷水机的触摸屏操控图形用户界面-CN202130170861.5有效
发明人：莫科伟 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： 31-00 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：单通道冷水机的触摸屏操控图形用户界面。2.本外观设计产品的用途：用于通过触摸屏对单通道冷水机的操控。3.本外观设计产品的设计要点：在于单通道冷水机的操控界面。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.本外观设计的设计要点在于交互界面，仅涉及主视图，省略左视图、右视图、俯视图、仰视图、后视图。6.图形用户界面的用途：单通道冷水机的操控界面。7.图形用户界面在产品中的区域：单通道冷水机主视图上部屏幕。8.图形用户界面的人机交互方式：直接触摸点击屏幕界面按钮实现界面切换。9.图形用户界面的变化状态说明：（1）通过触摸主界面的【CHX】键进入参数界面即界面变化状态图1。（2）通过触摸界面变化状态图1的【AMAT1】键进入界面变化状态图2。（3）通过触摸界面变化状态图2的【Lonworks】键返回主界面。
通道冷水机触摸屏操控图形用户界面

[外观设计]双通道冷水机的触摸屏操控图形用户界面-CN202130170894.X有效
发明人：莫科伟 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： 31-00 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：双通道冷水机的触摸屏操控图形用户界面。2.本外观设计产品的用途：用于通过触摸屏对双通道冷水机的操控。3.本外观设计产品的设计要点：在于双通道冷水机的操控界面。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.本外观设计的设计要点在于交互界面，仅涉及主视图，省略左视图、右视图、俯视图、仰视图、后视图。6.图形用户界面的用途：双通道冷水机的操控界面。7.图形用户界面在产品中的区域：双通道冷水机主视图上部屏幕。8.图形用户界面的人机交互方式：直接触摸点击屏幕界面按钮实现界面切换。9.图形用户界面的变化状态说明：（1）通过触摸主界面的组合键(【GT‑C3060】键加【PV】键)进入参数画面即界面变化状态图1。（2）通过触摸界面变化状态图1中的【LonWorks】键进入参数画面即界面变化状态图2。（3）通过触摸界面变化状态图2中的【LamAnalog】键进入参数画面即界面变化状态图3。（4）通过触摸界面变化状态图3中的左、右箭头按键可切换至界面变化状态图2或界面变化状态图4。（5）通过触摸界面变化状态图4中的左、右箭头按键可切换至界面变化状态图3或界面变化状态图5。（6）通过触摸界面变化状态图5中的【End】按键返回主界面。
双通道冷水机触摸屏操控图形用户界面

[实用新型]机械手臂测试平台-CN201920962755.8有效
发明人：张兆伟;夏俊东;何蓬勃 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本实用新型是机械手臂测试平台，其结构包括机架、被测机械手臂、第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组，其中机架为长方体形，机架其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组，机架内中心设被测机械手臂。本实用新型的优点：1)可自动抓取被测机械手臂运行位置差异，实现有效测试维修后的机械手臂是否存在潜在故障，保证生产的稳定进行；2)可设定循环运行次数，方便做马拉松测试，测试方式有效灵活、效率高。
机械手臂本实用新型第二传感器第一传感器传感器组侧面中部测试方式测试平台长方体形潜在故障循环运行有效测试运行位置自动抓取马拉松垂直测试灵活维修保证生产

[发明专利]湿法清洗设备烘干机构-CN201911058856.3在审
发明人：莫科伟;祁志明;李松松 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明是湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本发明的优点：烘干机构采用升降带动热风管，有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品，能充分的烘干；吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖，从而达到吹干水分；标准件保证了机构整体稳定性，达到设备产品干进干出的目的，提高了质量，且提高了效率。
热风管升降装置吹干模冷风管热风气缸模组固定板气缸固定座烘干机构感应器热风烘干机构湿法清洗设备整体稳定性标准件槽体主体吹干机构上下升降设备产品左右摆动左右移动后侧面烘干吹干覆盖感温模组升降保证

[发明专利]全自动化学镍钯金生产设备控制系统-CN201911058860.X在审
发明人：姚鑫杰;李松松;莫科伟 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C23C18/48 文献下载
摘要：本发明是全自动化学镍钯金生产设备控制系统，其结构是工业电脑与图像采集模块、PLC、SECS相接，图像采集模块与CCD高清摄像头相接，PLC与温度采集模块、RFID识别模块、SECS模块相接，SECS模块与工厂中央集成控制室相接。本发明的优点：CCD高清摄像头可实时获得机台内的运行画面，异常可报警；RFID识别模块进行实时跟踪，可自动识别和输入产品所需工艺参数，无需人工干预，信息不正确可自动退回，防止不良；SECS模块使管理方便，可及时监控流水线生产情况、存储重要生产数据、报表等，以减少过程失误降低成本及提升产品质量，同时高级管理员可更加便捷协调整个车间生产；增加了可追溯性，有助于提高产品品质。
图像采集模块高清摄像头生产设备控制温度采集模块机台流水线生产产品品质车间生产工业电脑管理方便可追溯性人工干预生产数据实时跟踪实时获得输入产品运行画面中央集成自动识别化学镍可报警控制室钯金存储监控协调

[实用新型]一种研磨液中央供应系统-CN201720487908.9有效
发明人：李春;黄荣燕 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体的制造领域，特别是一种研磨液中央供应系统，一种研磨液中央供应系统，包括通过管路顺次连接的原料液供应装置、研磨液混合装置、研磨液供应装置、若干化学机械研磨站，第一出料管路和第一回路分别连接原料液供应装置和研磨液混合装置，第二出料管路和第二回路分别连接研磨液混合装置和研磨液供应装置，第三出料管路与第三回路相连通而形成完整回路。本实用新型的有益效果是本实用新型的技术方案可充分利用现有原供应系统，随着供应量的增加而不需要建立更大型的中央混液供液系统，节省成本；使用灵活，研磨液供应系统需要至少半年就要停机冲洗，采用本实用新型，可以对本地供应系统分段清洗，不必导致整条管路停车。
一种研磨中央供应系统

[实用新型]一种研磨液供应装置-CN201720487909.3有效
发明人：李春 -专利权人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体的制造领域，特别是一种研磨液供应装置。其包括盛液桶；导管，导管上设有泵体、液位检测器和第一阀体；溢流液管，一端管接液位检测器，另一端管接溢流液桶；导回管，其上设有第二阀体；导回支管，一端管接溢流液桶，另一端管接导回管中段；盛液桶、导管、溢流液管、导回管、导回支管均设于壳体内，壳体包括框架和蒙皮，盛液桶和泵体与框架固定连接。本实用新型的有益效果是本装置体积小；由于采用全封闭的壳体，大大提高了装置的密封性，防止与环境交互，造成环境污染；圆柱桶身内无死角，使研磨液不易造成结晶；避免了在需要停止供液时的瞬间造成溢流，减少了研磨液的浪费。
一种研磨供应装置

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