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[实用新型]一种新型等离子体阴极电子束源及3D打印机-CN201821891704.2有效
发明人：任炟;刘静 -专利权人： 合肥飞帆等离子科技有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01J37/077 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型等离子体阴极高能电子束源，包括等离子体阴极系统、阳极、负高压电源、电子束靶板；负高压电源的高压端与等离子体阴极相连，负高压电源的接地端与阳极、电子束靶板相连接，并接大地；等离子体阴极系统包括新型微波ECR等离子体源、微波源，新型微波ECR等离子体源包括微波共振腔、非对称的永磁体组件、阴极板；本实用新型还提供一种3D打印机；本实用新型的有益效果：在微波共振腔中将产生高电子密度的等离子体，借助永磁体组件在共振腔中产生轴向非对称磁镜场，可以在很低的气流量下就能产生高能电子束，能做到长寿命、低维护、高可靠性。
等离子体阴极本实用新型负高压电源阴极新型等离子体高能电子束微波共振腔永磁体组件阳极电子束靶新型微波非对称等离子体电子束源高可靠性长寿命磁镜场高压端共振腔接地端气流量微波源阴极板板相并接轴向维护

[发明专利]一种新型等离子体阴极电子束源及3D打印机-CN201811367603.X在审
发明人：任炟;刘静 -专利权人： 合肥飞帆等离子科技有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01J37/077 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型等离子体阴极高能电子束源，包括等离子体阴极系统、阳极、负高压电源、电子束靶板；负高压电源的高压端与等离子体阴极相连，负高压电源的接地端与阳极、电子束靶板相连接，并接大地；等离子体阴极系统包括新型微波ECR等离子体源、微波源，新型微波ECR等离子体源包括微波共振腔、非对称的永磁体组件、阴极板；本发明还提供一种3D打印机；本发明的有益效果：在微波共振腔中将产生高电子密度的等离子体，借助永磁体组件在共振腔中产生轴向非对称磁镜场，可以在很低的气流量下就能产生高能电子束，能做到长寿命、低维护、高可靠性。
等离子体阴极负高压电源阴极新型等离子体高能电子束微波共振腔永磁体组件阳极电子束靶新型微波非对称等离子体电子束源高可靠性长寿命磁镜场高压端共振腔接地端气流量微波源阴极板板相并接轴向维护

[发明专利]一种多晶硅生产装置及多晶硅生产方法-CN201010559873.8无效
发明人：任兆杏;任炟;刘静 -专利权人： 合肥飞帆等离子科技有限公司
申请日： 2010-11-23 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅生产装置，包括多晶硅固化接收容器，微波表面波等离子体炬，多晶硅固化接收容器接收微波表面波等离子体炬生成的多晶硅。本发明还公开了一种多晶硅生产方法，采用SiHCl3蒸汽和H2气体作为原料反应物，通过微波表面波等离子体炬对原料反应物放电以加热介质管中的原料反应物，生成的硅在多晶硅固化接收容器中冷却而固化得到多晶硅。
一种多晶生产装置方法

[实用新型]微波表面波等离子体炬-CN201020216820.1无效
发明人：任兆杏;任炟;刘静 -专利权人： 合肥飞帆等离子科技有限公司
申请日： 2010-05-28 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微波表面波等离子体炬，包括矩形波导，矩形波导一端安装有微波产生传输装置，另一端安装有微波匹配装置，矩形波导一个侧壁上设置有凸起的通道压缩块，侧壁还安装有旋转进气环，旋转进气环上安装有点火器；还包括有垂直于矩形波导另一侧壁的介质管，介质管依次穿过矩形波导另一侧壁与通道压缩块相对的位置、通道压缩块后，与旋转进气环连通，介质管与旋转进气环同轴，介质管外套有与介质管同轴的圆波导。本实用新型产生的等离子体既是高能量密度的，也是足够洁净的等离子体，将能够满足十分重要的高科技领域的需求。
微波表面波等离子体