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[发明专利]一种石英舟装载晶圆的装载装置-CN202210349729.4在审
发明人：刘汉东 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英舟装载晶圆的装载装置，包括两组升降机构，石英舟置于其中一组升降机构的运动部件上，机械手置于另一组升降机构的运动部件上，两组升降机构同步反向运动。本发明能够具有较高的装载效率。
一种石英装载装置

[发明专利]一种具有气幕降温结构的石英竖管炉-CN202210349829.7在审
发明人：刘汉东 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： F27B1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有气幕降温结构的石英竖管炉，包括炉体和包围于炉体外的保温外壳，保温外壳与炉体之间的环向空隙中设有加热器，加热器、炉体之间的端部位置设有气幕装置，所述气幕装置向加热器、炉体之间环向空间形成多圈环向气幕。本发明可在加热器不停止工作的情况下实现快速降温，具有使用方便、降温速度快的优点。
一种有气降温结构石英竖管炉

[发明专利]一种工业炉尾气过滤器-CN202210348943.8在审
发明人：刘汉东 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： F27D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种工业炉尾气过滤器，包括容器本体，容器本体设有尾气进气管、收集管，容器本体内部设有冷凝室、加热室，尾气进气管与冷凝室内连通，冷凝室内设有竖向的冷凝件，冷凝室下部与加热室上部连通，加热室内底部设有加热件，加热件中通孔连接有流道，收集管内被分为胶类物质收集腔和尾气收集腔，加热室侧部腔道与尾气收集腔连通，加热件通孔连接的流道与胶类物质收集腔连通。本发明可降低工业炉尾气的污染性，并能够避免氧含量分析仪被污染。
一种工业炉尾气过滤器

[发明专利]一种晶圆烘烤用石英舟结构-CN202210357281.0在审
发明人：刘汉东 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆烘烤用石英舟结构，包括上顶板和下底板，上顶板与下底板之间转动连接有至少一个曲轴结构，上顶板、下底板边缘位置之间固定有至少一个竖棒，竖棒设有卡槽，曲轴结构包括多段连接轴以及固定连接于相邻连接轴之间的U型臂。本发明能够方便晶圆水平放入石英舟，并能够在石英舟运动时保持晶圆稳固、防止晶圆脱落。
一种烘烤石英结构

[实用新型]一种真空存储柜-CN202022564852.7有效
发明人：安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B65D85/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空存储柜，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀、进气电磁阀、粗、精抽真空管路和触摸屏，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方面分别对应连接有粗、精抽泵；控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀、进气电磁阀和粗、精抽泵电连接。本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求，能够独立实时显示每个腔室内有无电子产品的状态和真空度数值。
一种真空存储

[实用新型]一种热风干燥炉-CN202120588762.3有效
发明人：安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路;杨阿龙 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： F26B15/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热风干燥炉，包括有炉体、控制器、网带输送机构、电机变频器、第一、二、三、四、五风机、第一、二、三、四、五风机变频器、电加热器、交流接触器、第一、二温度传感器和报警器；控制器一方面分别与第一、二温度传感器电连接，另一方面分别与电机变频器、第一、二、三、四、五风机变频器、交流接触器和报警器电连接。本实用新型便于及时识别并排除故障，实现了对加热、冷却过程的可控、可调，提高了加热和冷却效果，从而提高了干燥效果和工作效率；另外，能够防止加热区的热量外逸，避免了热量损失和对加热区内的温度控制造成不利的影响。
一种热风干燥

[实用新型]一种全热风回流焊接炉-CN202120590078.9有效
发明人：安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路;杨阿龙 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全热风回流焊接炉，包括有炉体、相电连接的控制器和触控屏、横穿炉体的网带输送机构、电机变频器、加热段和冷却段，加热段包括有若干个加热区，每个加热区均设有第一风机、第一风机变频器、第一温度传感器、电加热器和报警器，电加热器的供电回路中连接有交流接触器；冷却段包括有若干个冷却区，每个冷却区均设有第二风机、第二风机变频器和第二温度传感器；控制器一方面分别第一、二温度传感器电连接，另一方面分别与电机变频器、第一、二风机变频器、交流接触器和报警器电连接。本实用新型便于及时识别并排除故障，实现了对加热、冷却过程的可控、可调，提高了加热和冷却效果，提高了工作效率。
一种热风回流焊接

[实用新型]一种烧结炉-CN202120590101.4有效
发明人：安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路;杨阿龙 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： F27B9/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种烧结炉，包括有炉体、控制器、触控屏、电机变频器、第一、二、三温度传感器、交流接触器、报警器、风机变频器、气幕发生机构、流量计和电子式调节阀；控制器一方面分别第一、二、三温度传感器和流量计电连接，另一方面分别与电机变频器、风机变频器、交流接触器、报警器和电子式调节阀电连接。本实用新型便于及时识别并排除故障，实现了对加热、冷却过程和炉内气氛的可控、可调，能够调节网带输送机构的输送速度，提高了加热和冷却效果以及工作效率，满足了不同工件的加热和冷却所需；另外，防止了热量外逸，并可有效补充烧结工作所需用气，控制加热段的气流流向，防止了胶质污染工件的烧结，且有助于排出炉内的烟气。
一种烧结炉

[发明专利]一种真空存储柜的真空系统-CN202011239631.0在审
发明人：安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B65D81/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方面分别对应连接有粗、精抽泵；控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽泵电连接。本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
一种真空存储系统

[实用新型]多腔体无尘精密烤箱-CN202020518574.9有效
发明人：陈善瑾;丁道路;杨阿龙 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多腔体无尘精密烤箱，包括有箱体、多个腔室、活动门、行程开关、电磁门锁、多个循环风机、电加热器、气体流量计、进、排气电磁阀、高效过滤器、温度传感器、温控器、控制器和多通道记录仪，电磁门锁、多个循环风机、电加热器的供电回路中分别安装有第一、二、三继电器；温度传感器分别与温控器电连接，温控器分别与控制器和多通道记录仪电连接，控制器分别与行程开关、气体流量计、第一、二、三继电器、进气电磁阀和排气电磁阀电连接。本实用新型设置多个腔室，既相互独立，又集中一体，可独立运行，也可同步运行，效果好，效率高，使产品快速、高效的达到所需温度，能够起到很好的洁净效果，且独立升温，实现了自动化作业。
多腔体无尘精密烤箱

[实用新型]高效洁净烘烤烤箱-CN202020518579.1有效
发明人：陈善瑾;丁道路;杨阿龙 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效洁净烘烤烤箱，包括有箱体、腔室、活动门、行程开关、电磁门锁、循环风机、电加热器、气体流量计、进、排气电磁阀、高效过滤器、温度传感器、温控器和控制器，电磁门锁、循环风机、电加热器的供电回路中分别安装有第一、二、三继电器；温度传感器与温控器电连接，温控器与控制器电连接，控制器分别与行程开关、气体流量计、第一、二、三继电器、进气电磁阀和排气电磁阀电连接。本实用新型的循环风机鼓入氮气并携带电加热器所产生的热量通过高效过滤器的过滤，进入工作腔室，使产品快速、高效的达到所需温度，同时在加热过程中不产生灰尘，洁净无污染，实现了自动化作业。
高效洁净烘烤烤箱

[实用新型]真空无氧固化炉-CN201921480422.8有效
发明人：陈善瑾;丁道路;刘汉东;郑宇鹏;陶毅 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： F27B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量分析仪和电磁阀；风冷降温系统包括有空气放大器；温度控制系统包括有温控仪。本实用新型结构简单，成本低，实现了固化炉的自动化控制，避免了出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，保证了固化炉的正常工作和工作效率。
空无固化

[实用新型]一种全自动高真空除气炉-CN201921343553.1有效
发明人：陈善瑾;丁道路;刘汉东;郑宇鹏;陶毅 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动高真空除气炉，本实用新型涉及真空除气炉技术领域，包括除气炉本体，除气炉本体包括设置在其内从左向右的装卸腔、过渡段、加热腔和对原料加热完成后的回推腔，且装卸腔和加热腔之间通过过渡段连接，装卸腔和加热腔上均设置有对二者内部进行真空处理的真空控制系统；本实用新型第一步进电机正转启动后，可以将放置在链条一上盛放有原料的料盒通过推送板一和过渡段推入传送带上两个导向杆组之间，第二步进电机启动后，链条二会通过齿轮三和齿轮四的作用进行转动，这时，链条二就会带动导向杆组内盛放原料的料盒进行移动，进而将料盒传送到加热板内指定位置的加热器上进行加热。
一种全自动真空

[实用新型]一种真空烤盘炉-CN201921343558.4有效
发明人：陈善瑾;丁道路;刘汉东;郑宇鹏;陶毅 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空烤盘炉，本实用新型涉及烤炉盘技术领域，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，炉体包括有外壳和内腔，外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，内腔的前、后端均开设有通风孔，内腔中设置有加热组件；本实用新型通过上述相关结构的配合使用，炉体内需要真空状态时，打开气阀，PLC可以控制旋片式真空泵或罗茨真空泵对炉体内的空气进行抽离，直到将炉体抽至真空状态，度热电偶可以对炉体内的温度进行检测，然后将炉体内的温度信息依次传递给温度仪和PLC，然后PLC将温度信息传递给炉体外部的触摸屏，然后触摸屏控制PLC对炉体内的温度进行调控。
一种真空烤盘炉

[发明专利]真空无氧固化炉-CN201910844264.8在审
发明人：陈善瑾;丁道路;刘汉东;郑宇鹏;陶毅 -专利权人： 合肥真萍电子科技有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： F27B5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量分析仪和电磁阀；风冷降温系统包括有空气放大器；温度控制系统包括有温控仪。本发明结构简单，成本低，实现了固化炉的自动化控制，避免了出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，保证了固化炉的正常工作和工作效率。
固化炉炉膛温度控制系统降温系统真空系统风冷指示灯真空度检测元件氧含量分析仪加热器空气放大器自动化控制测温元件工作效率过风通道加热不均控制器充气泵出风口触摸屏电磁阀蜂鸣器进风口温控仪真空泵超温炉门炉体托板无氧变形保证

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