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[发明专利]光伏装置的生产管理方法-CN200910252156.8无效
发明人： 叶育修;刘华龙;刘正治;罗智文 -专利权人：均豪精密工业股份有限公司
申请日： 2009-12-07 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种光伏装置的生产管理方法，其是在光伏装置的制造过程中，分配每一片晶圆一个虚拟标记，经由时间与距离的运算以及入出料的检测，可以得知每一片晶圆在生产机台中的位置，当某两个晶圆间的相对距离不符合一预定的距离时，即可自动判定机台内有异常状况发生而停止输入晶圆。
装置生产管理方法

[发明专利]光伏装置的蚀刻工艺控制方法-CN200910210815.1无效
发明人： 叶育修;刘华龙;刘正治;罗智文 -专利权人：均豪精密工业股份有限公司
申请日： 2009-11-10 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种光伏装置的蚀刻工艺控制方法，其包括以下步骤：步骤1：将一晶片送入一蚀刻机台；步骤2：在所述蚀刻机台内测量、计算、记录所述晶片在蚀刻工艺前与蚀刻工艺后的某一特定物理量的差异，并由此计算、记录其蚀刻率；步骤3：由所述蚀刻机台自动判断所述蚀刻率与所述蚀刻机台内设的预定值是否有差异，若为否，则重新回到步骤1，若为是，则往下进行步骤4；步骤4：由所述蚀刻机台计算蚀刻工艺参数修正值；步骤5：由所述蚀刻机台自动修正其蚀刻工艺参数，并且回到步骤1。本发明是在光伏装置的蚀刻程序中，运用自动工艺回馈控制法来调整晶片的蚀刻率，以达到稳定的蚀刻工艺参数。
装置蚀刻工艺控制方法