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- [实用新型]一种多头旋转型抛光设备-CN202223061634.7有效
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朱恺华;赵正东
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南通伟腾半导体科技有限公司
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2022-11-18
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2023-04-28
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B24B29/00
- 本实用新型公开了一种多头旋转型抛光设备,包括底座,底座的顶部固定安装有两个固定板,底座的顶部固定安装有走料板,两个固定板的一侧分别开设有两个通槽,通槽的内部固定设有调节机构,且调节机构包括,转轴、连接块、丝杆和曲柄,通槽的内壁均滑动连接有连接块,通槽的内壁一侧转动连接有贯穿并延伸至固定板外的丝杆,丝杆的顶端固定安装有曲柄,丝杆与连接块套接,连接块的转动连接有贯穿并延伸至连接块外的转轴,转轴的外圈固定设有抛光筒,两个转轴通过第二皮带轮组连接。通过转动曲柄即可带动丝杆转动,将使得连接块在通槽内移动,而带动转轴上下移动,即可带动抛光筒上下移动效果,而达到对其调节效果。
- 一种多头旋转抛光设备
- [实用新型]一种抛光设备的自动精准定位结构-CN202223120680.X有效
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朱恺华;赵正东
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南通伟腾半导体科技有限公司
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2022-11-24
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2023-04-28
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B24B29/02
- 本实用新型涉及抛光设备定位机构技术领域,尤其涉及一种抛光设备的自动精准定位结构。提出如下技术方案:包括支撑壳体以及固定连接在支撑壳体上端的U形安装架,所述U形安装架的下表面通过液压伸缩杆一安装有抛光电机,所述抛光电机的输出轴固定连接有抛光盘,所述支撑壳体上端滑动连接有定位壳体,所述定位壳体的内部设置有定位组件,所述定位壳体的下表面固定连接有两个对称设置的传动滑块,两个所述传动滑块均贯穿支撑壳体的上表面且与支撑壳体滑动连接,电动伸缩杆一的伸缩端与传动滑块固定连接。本实用新型结构设计新颖,能够精准的对板材进行定位,且能够在固定的状态下移动板材的位置,便于抛光的进行,提高了抛光的效率。
- 一种抛光设备自动精准定位结构
- [实用新型]一种半导体碱蚀刻的泡洗装置-CN202220970409.6有效
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朱恺华;赵正东;王百强
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南通伟腾半导体科技有限公司
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2022-04-26
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2022-08-09
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种半导体碱蚀刻的泡洗装置,其结构包括水箱,其结构还包括循环水泵,水箱的顶部分别开设有活动槽、加液口,活动槽上设有和水箱内部相连通的产品伸入口,活动槽上设有可滑动的盖板,水箱的内部设有分隔板,分隔板使得水箱被划分为泡洗区、储水区,加液口上设有可拆卸的盖体且位于储水区的正上方,产品伸入口位于泡洗区的正上方,水箱的底部分别设有废液口、液体循环出口,水箱的侧面设有液体循环进口,废液口开设在泡洗区的底部且设有关断阀,循环水泵的输入端和液体循环进口相连通,循环水泵的输出端和液体循环出口相连通,本实用新型避免杂质在半导体的附近聚集,有利于半导体的充分碱蚀刻。
- 一种半导体蚀刻装置
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