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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]可降低制造成本的光罩及其设计方法-CN200410104002.1无效
发明人：资三德 -专利权人： 卓越光掩膜科技有限公司
申请日： 2004-12-30 - 公布日： 2006-07-05 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明的光罩设计方法首先计算一光罩基板的可布局图案数。之后，分别计算一第一光罩与一第二光罩的成本。然后分别计算使用该第一光罩及该第二光罩制备一预定片数的晶圆的整体制造成本，并选取整体制造成本较低者来设计该光罩基板的图案数。较佳地，该第一光罩的图案数等于该可布局图案数，而该第二光罩的图案数小于该可布局图案数。本发明的光罩包含一光罩基板、一设置于该光罩基板的局部区域上的第一图案以及一设置于该光罩基板的另一局部区域上的第二图案。该第一图案与该第二图案是分别用于在一晶圆上定义一晶粒的不同层次的形貌。
降低制造成本及其设计方法

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