专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果5个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法-CN202011059003.4有效
  • 北原道隆;金栽贤;永田透 - 佳能特机株式会社
  • 2020-09-30 - 2023-03-24 - C23C14/24
  • 本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。成膜装置具备:支承被成膜物的被成膜物支承部和旋转接头,所述旋转接头具有与被成膜物支承部连接并旋转的旋转部和设置在旋转部的周围并固定于成膜室的固定部,固定部具有供给液体的供给口和排出液体的排出口,旋转部具有将从供给口供给的液体向被成膜物支承部供给的供给流路和将从被成膜物支承部排出的液体向排出口排出的排出流路,构成供液体按照供给口、供给流路、被成膜物支承部、排出流路、排出口的顺序流动的液体流路,成膜装置还具备:将从排出口排出的液体向供给口供给的循环路径、配置于循环路径的泵和阀、以及根据成膜装置的运转状态对泵和阀进行控制的控制部。
  • 装置方法以及电子器件制造

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top