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[发明专利]一种超薄晶圆自动刷胶装置-CN201910003161.9在审
发明人：张伟明;刘新地;周伟;沈浩 -专利权人：天通控股股份有限公司
申请日： 2019-01-03 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： B05C3/09 文献下载
摘要：本发明涉及半导体及晶圆表面刷胶晶圆加工技术领域，具体涉及一种超薄晶圆自动刷胶装置，是一种通过特殊的电气、机械结构，来实现晶圆表面均匀刷胶的装置，利用特殊的调节机构方便实现胶层厚度控制，同时利用特殊的结构使产品在刷胶过程中受力最小，利用电气自动化的配合来实现全自动刷胶的一种刷胶装置。该发明装置的刷胶原理完全区别于传统刷胶方法，其特殊的结构设计使刷胶过程中，刮刀不直接作用于晶圆表面，因此晶圆受力非常小，具有胶层厚度范围大，控制准确方便，产品定位方便等优势。该发明装置的运用，大大提高了晶圆以及类似产品的表面刷胶技术，能够提升生产效率及刷胶精度。
刷胶晶圆表面自动刷胶装置超薄晶圆胶层晶圆受力电气自动化厚度控制机械结构晶圆加工全自动刷生产效率刮刀种刷半导体配合

[发明专利]一种基于PLC控制器自动实现压电晶体单畴化的方法-CN201711212344.9在审
发明人： 刘新地;张伟明;洪宇峰 -专利权人：天通控股股份有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于PLC控制器自动实现压电晶体单畴化的方法，所述自动实现压电晶体单畴化的方法中包括用于加热的极化炉、温控仪、程控电源、PLC控制器和电脑，所述PLC控制器通过数据线分别与温控仪、程控电源和电脑连接；所述PLC控制器包括控制屏和控制系统，所述控制屏上设有自动极化的条件设置选项，包括手动、自动极化设置选项；极化温度设置选项；恒温延时设置选项；极化方式设置选项；极化电流、电压设置选项；极化电流、电压上升时间设置选项、极化关闭方式设置选项和报警功能设置选项。本发明真正实现了自动化，解放了劳动力，提高了极化的质量，特别适合规模性大批量生产作业。
一种基于 plc 控制器自动实现压电晶体单畴化方法