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- [实用新型]一种平面轰击离子源-CN202320060141.7有效
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刘宸佳;李晓刚
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江苏索腾真空科技有限公司
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2023-01-10
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2023-08-22
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H01J27/02
- 本实用新型公开了一种平面轰击离子源,涉及离子源技术领域。本实用新型包括固定罩、放电板和电极,固定罩包括底板,底板一表面边缘处固定有罩边,罩边两侧面均固定有工艺气管,放电板通过若干紧固件固定在底板上并位于罩边内部,放电板一端底部开设有嵌入口,底板一端开设有与嵌入口同心的开口,电极贯穿开口并嵌入设置在嵌入口内并与嵌入口内壁贴合,电极固定在底板上。本实用新型通过设计新型的平面离子源结构,结构简单、利于生产和组装且防护效果较好,同时放电板一表面暴露在外,由一个电极发电并由放电板放电,电极位置设置在底板底部,使离子源各个部件利于拆卸和安装,利于检修维护,同时稳定性较高。
- 一种平面轰击离子源
- [实用新型]一种平面阳极层离子源-CN202320124330.6有效
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刘宸佳;李晓刚
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江苏索腾真空科技有限公司
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2023-01-12
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2023-08-22
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C23C16/50
- 本实用新型公开了一种平面阳极层离子源,涉及离子源技术领域。本实用新型包括底板和固定座,底板上表面设有内阴极和外阴极,内阴极和外阴极之间形成离子束槽体,离子束槽体内下部通过限高柱固定有阳极,阳极内设有第一冷却水流道,第一冷却水流道一侧的中部设有第一隔块,内阴极内边缘处由内至外依次设有第二冷却水流道和气体流道,第二冷却水流道一侧的中部设有第二隔块。本实用新型通过将气体流道布置在内阴极上,同时在内阴极上设置第二冷却水流道,第二冷却水流道内的循环冷水可对气体流道和离子束槽体进行散热,同时配合阳极上布置的第一冷却水流道可同时在离子束槽体两侧进行冷却,极大程度提高离子源的冷却效果。
- 一种平面阳极离子源
- [发明专利]一种真空镀膜用同步翻转的工件架-CN202310055862.3在审
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刘宸佳;李晓刚
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江苏索腾真空科技有限公司
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2023-01-17
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2023-06-23
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C23C14/50
- 本发明公开了一种真空镀膜用同步翻转的工件架,涉及真空镀膜技术领域。本发明包括中心轴、工件架体和升降架,升降架包括圆环状的底板和顶板,顶板设置在中心轴顶端周侧面并与中心轴转动连接,顶板顶部边缘处固定有若干气缸,若干气缸输出端贯穿顶板并固定有外板体,外板体底部边缘处固定有若干连杆,若干连杆底端固定有内板体,底板通过若干下杆件固定在内板体底部,底板内侧转动连接有内环体,内环体顶部固定有外齿圈,内环体沿着中心轴上下滑动。本发明通过设计可转动式的中心轴,可驱动中心轴和外齿圈同步转动,配合角度恒定的分架体和齿轮,可同步带动所有分架体同时翻转,自动化工作,工作效率较高且安全性较高。
- 一种真空镀膜同步翻转工件
- [实用新型]红外吸收型窄带滤光片镀膜夹具-CN202122615171.3有效
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刘宸佳;刘志成
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江阴市中兴光电实业有限公司
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2021-10-28
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2022-09-27
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G02B7/00
- 本实用新型提供红外吸收型窄带滤光片镀膜夹具,涉及滤光片生产技术领域。包括基座,所述基座顶部固定连接有操作台,所述操作台两侧均开设有第一滑槽和第二滑槽,所述操作台其中一侧开设有螺纹孔,所述螺纹孔设于第一滑槽和第二滑槽之间。该红外吸收型窄带滤光片镀膜夹具通过手动转动把手带动螺纹杆转动,螺纹杆会持续向靠近固定杆的方向移动推动活动推杆移动,达到对滤光片进行固定的效果,不仅使用效果较好并且不存在局限性,可以根据实际使用需求对夹持区的空间进行调节,同时还可以同步的对不同尺寸的加工件进行限位固定处理,降低了使用成本,提高了生产效率,同时操作简单便捷降低了工作人员的劳动量。
- 红外吸收窄带滤光镀膜夹具
- [实用新型]一种用于多位旋转阻蒸盘的导电棒-CN202123380992.X有效
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刘宸佳;刘志成
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江阴市中兴光电实业有限公司
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2021-12-29
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2022-07-26
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C23C14/26
- 本实用新型公开了一种用于多位旋转阻蒸盘的导电棒,涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括棒体和外护套,棒体一端设有安装座,安装座顶部固定有铜块,棒体另一端设有顶套,棒体滑动设置在外护套内,棒体远离安装座一端周侧面嵌入固定有外螺套,外螺套上螺纹连接有一组螺母,外护套一端固定有垫环,棒体和外护套通过垫环和螺母贯穿固定在阻蒸盘内。本实用新型通过设计具备夹层的外护套,并且与进水口、上阻水环、第一通口、下阻水环、第二通口和出水口的配合能在外护套内形成蛇形冷却通道,并且水冷腔内的上腔体和下腔体只能通过进水口和出水口,能对导电棒进行高效防护的同时具备高效的冷却效果。
- 一种用于旋转阻蒸盘导电
- [实用新型]一种用于多位旋转阻蒸盘的阻蒸舟-CN202123430185.4有效
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刘宸佳;刘志成
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江阴市中兴光电实业有限公司
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2021-12-31
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2022-07-26
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C23C14/26
- 本实用新型公开了一种用于多位旋转阻蒸盘的阻蒸舟,涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括若干阻蒸舟本体和绝缘座,绝缘座一表面固定有内套体和外套体,绝缘座固定在阻蒸盘上,内套体和外套体位于阻蒸盘上内电极块和外电极块之间,内套体和外套体之间固定有若干隔板,若干隔板将内套体、外套体和绝缘座分隔为若干腔体,腔体内一侧固定有弹性板。本实用新型通过定位腔和弹性板的配合能够将阻蒸舟本体卡接在绝缘座上,稳定性较强,同时在卡接过程前,下极板预先与电极块顶部接触,在卡接完毕后下极板相对于置物壳向上移动一段距离,此时通过弹簧的弹力能够始终保证下极板与电极块的连接,连接稳定性和安全性较强。
- 一种用于旋转阻蒸盘阻蒸舟
- [实用新型]一种用于镀膜机的自动百叶窗-CN202121534694.9有效
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刘宸佳
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江苏索腾真空科技有限公司
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2021-07-07
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2022-02-01
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E06B7/086
- 本实用新型公开了一种用于镀膜机的自动百叶窗,涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括一组并排设置的百叶窗体、调节气缸和连接件,百叶窗体包括一组侧板,一组侧板之间并排的转动连接有若干转杆,转杆周侧面固定有V形扇体,两百叶窗体相对的转杆之间通过连接套相互固定,连接件包括连接板,连接板一侧通过若干销轴并排的转动连接有若干V形杆,连接件设置在一百叶窗体上部一侧。本实用新型通过连接件和压缩气缸能够实现一个百叶窗体上若干V形扇体的同步自动的开闭,同时通过连接套实现两个百叶窗体上若干转杆之间的连接,实现两个百叶窗体的联动开闭,从而实现百叶窗体的自动开闭,方便使用和操控。
- 一种用于镀膜自动百叶窗
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