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[发明专利]硅粉回收方法和硅粉回收装置-CN201510542262.5有效
发明人：藤田敦史;吉田干;内田正喜 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C01B33/037 文献下载
摘要：提供硅粉回收方法和硅粉回收装置，有效地回收去除了水分的硅粉。使硅吸附板(32)和硅通过限制板(33d)接触从使磨石(103d)与硅晶片(S)抵接来进行加工的加工装置(100)排出的包含硅粉(P)的废液(L)，并对它们通电而使硅粉附着于带正电的硅吸附板。接着，将硅吸附板从废液提起，从硅吸附板刮取并回收包含附着于硅吸附板的硅粉和废液的硅溶液(SF)。接着，利用干燥单元(6)使从硅吸附板刮取的硅溶液的水分干燥。
回收方法装置

[发明专利]不良检测方法-CN201710134157.7有效
发明人：新井贤;吉田干;内田正喜 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2017-03-08 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：提供不良检测方法，能够适当地判定出添加剂的注入不良。一种不良检测方法，对加工液提供装置(40)中的添加剂的注入不良进行检测，该不良检测方法包含如下的步骤：浓度设定步骤，对加工液中的添加剂的浓度进行设定；添加量计算步骤，根据通过浓度设定步骤设定的添加剂的浓度和由流量计(44)测量出的液体的流量对添加剂的添加量进行计算；移送泵工作判别步骤，当按照通过添加量计算步骤计算出的添加量向液体添加添加剂时，对移送泵(64a，64b)的工作时间是否适当进行判别；以及判定步骤，当通过移送泵工作判别步骤判别为移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为添加剂的注入不良。
不良检测方法