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[发明专利]一种测试结构及其测试方法-CN202310199791.4在审
发明人： 傅思宇;闾新明 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种测试结构及其测试方法，测试结构包括依次堆叠设置的第一极板结构、介质层和第二极板结构，第一极板结构包括第一绝缘层以及嵌设在第一绝缘层中的第一电极层，介质层包括第一部分以及环设在第一部分外侧的第二部分，第二极板结构包括第二电极层，第一电极层和第二电极层正对设置，第一部分位于第一电极层和第二电极层之间，在第一电极层侧，第一绝缘层覆盖第二部分，第一绝缘层中形成有多个释放孔，所有释放孔间隔环绕在第一部分外侧，测试结构在牺牲层释放空腔结构工艺前后能够通过测试机台自动量测并获得牺牲层的侧掏距离，从而提高了侧掏距离的量测精度和测试效率，节省了测试时间和人力成本。
一种测试结构及其方法

[实用新型]一种杠杆联动翻转式粪尿分离节水厕所-CN202220332393.6有效
发明人： 傅思宇;梁梦琪;周姝妍;尹蕾;宋雨露 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： E03D11/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种杠杆联动翻转式粪尿分离节水厕所，属于卫生设施技术领域。该厕所包括粪尿分离系统、进出水清洁系统、杠杆系统、蹲便器翻转系统和防臭系统，通过蹲便器翻转系统使粪便在重力作用下自然掉落，从而减小厕所的冲水量；通过粪尿分离系统来实现尿液与粪便的分离，将尿液与粪便分别进行回收，实现资源的利用；杠杆系统联动进出水清洁系统控制水箱的出水量并实现延时出水的效果，通过环形喷水管的喷嘴对蹲便器可翻转便斗壁面进行清洗，保证符合标准的清洁效果并且更加节水；防臭系统包括单向阀和弹簧挡板，防止厕所产生异味。本装置结构简单、无需电耗、高效便捷、节约水资源且符合用户使用习惯。
一种杠杆联动翻转式粪尿分离节水厕所

[发明专利]改善深硅刻蚀晶圆硅柱缺陷的方法、结构及半导体器件-CN202210165336.8有效
发明人：陆晓龙;傅思宇;张彰 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及改善深硅刻蚀晶圆硅柱缺陷的方法、结构及半导体器件，其中结构包括晶圆衬底硅片，晶圆衬底硅片包括位于中部的有效图形区域和位于边缘的晶圆边缘去边区，有效图形区域内形成芯片单元阵列；有效图形区域形成对应于每个芯片单元的有效区硅通孔，晶圆边缘去边区形成阵列排布的去边区硅通孔，有效区硅通孔及去边区硅通孔通过BOSCH工艺同步刻蚀形成。本发明在晶圆边缘去边区增设去边区硅通孔，在对晶圆进行BOSCH刻蚀时，利用对去边区硅通孔的刻蚀去捕获更多的等离子体，令有效图形区域最外圈的有效区硅通孔刻蚀时的等离子体数量下降，提高了晶圆刻蚀速率的均匀性，减少了硅柱缺陷的形成，提升了可靠性。
改善刻蚀晶圆硅柱缺陷方法结构半导体器件

[发明专利]一种手部神经康复训练装置-CN202111561663.7在审
发明人：苏雷;傅思宇;汪青芸;向珩锐 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： A61H39/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种手部神经康复训练装置，本发明涉及医疗护理用具技术领域。该手部神经康复训练装置，包括框体，框体为左部开口的“C”形结构，框体内部右端面通过伸缩板固定连接有掌板，掌板内腔滑动连接有推板，推板的上端面为波浪形状，掌板远离伸缩板的一侧端面固定连接有用于控制推板往复运动的电动滑块，传动皮带外表壁等距固定连接有若干个弧形凸块，滚轮和传动皮带外表壁下部相抵触，架板右端面固定连接有驱动电机，驱动电机通过输出轴和位于架板前部的皮带轮固定连接，本发明能够多方位的自动对使用者的手部进行按摩，提高按摩效率，有利于使用者的快速康复。
一种神经康复训练装置

[发明专利]麦克风及其制造方法-CN202110421622.1有效
发明人： 傅思宇;谢志平;闾新明 -专利权人：中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种麦克风及其制造方法，由于先基于第一牺牲层的第一开口使得第二牺牲层随形形成凹槽，再在凹槽中形成第二开口，之后可以在第二开口中填充刻蚀停止层，以形成侧向停止结构，由此在通过释放孔对第一牺牲层和第二牺牲层进行各向同性刻蚀牺牲层以形成麦克风的振膜和背板之间的空腔时，刻蚀可以停止在侧向停止结构的表面，实现了第一牺牲层和第二牺牲层的侧掏距离可控的效果，降低了对各向同性刻蚀工艺的限制，且在形成空腔后能形成更加稳固的支撑柱，提高了麦克风的机械可靠性。
麦克风及其制造方法

[发明专利]MEMS装置及形成MEMS装置的方法-CN202010237690.8有效
发明人： 傅思宇;陆晓龙;刘国安 -专利权人：中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS装置以及一种形成MEMS装置的方法。所述MEMS装置中，背板包括依次叠加设置的第一介质层、第二介质层以及导电层，其中，所述第一介质层的应力水平高于所述第二介质层，利用第一介质层可以提高背板的整体应力以及刚性，在进行吸合电压测试时，有助于提高测试的灵敏度以及准确性，并且有助于实现较大的背板尺寸的同时确保其拉伸性能。此外，由于导电层仍然与第二介质层接触，第一介质层对导电层的接触性能的影响较小。所述MEMS装置中，第一介质层远离第二介质层的一侧可以设置有第三介质层，以保护第一介质层避免被腐蚀。所述形成MEMS装置的方法可用来形成上述MEMS装置。
mems 装置形成方法

[发明专利]麦克风部件及其制作方法-CN202110051575.6有效
发明人： 傅思宇 -专利权人：中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种麦克风部件及其制作方法，所述制作方法包括提供导电背板、多晶硅振膜、衬底和支撑结构，所述支撑结构设置在衬底上，所述多晶硅振膜和导电背板均设置在支撑结构上，所述衬底具有贯穿的背腔，所述导电背板和多晶硅振膜之间形成牺牲层，刻蚀牺牲层以在导电背板和多晶硅振膜之间形成空腔，形成空腔后对麦克风部件执行氧化处理，以利用紫外线臭氧光解氧化技术在多晶硅振膜的表面上形成氧化硅层。本发明通过在多晶硅振膜的表面形成氧化硅层，提高了麦克风部件在高温高湿环境下的灵敏度稳定性，改善麦克风的性能，同时还能简化退火工艺，降低生产成本。
麦克风部件及其制作方法

[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法-CN202010090860.4有效
发明人： 傅思宇;陆晓龙;刘国安;王宇 -专利权人：中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
申请日： 2020-02-13 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS麦克风及其制造方法，能够在背板上覆盖第二隔离层后且在刻蚀第二介质层以形成空腔之前，先刻蚀声孔底部的部分第二隔离层以形成相对凸出的屋檐阻挡部，以在刻蚀第二介质层以形成空腔的过程中，防止背板的声孔侧壁上的第二隔离层被刻蚀掉，从而保证最终形成的MEMS麦克风的背板中的背板材料层被第一隔离层和第二隔离层掩蔽在内，继而在制得的MEMS麦克风产品的后续使用过程中保证背板中的背板材料层与空气隔离，防止发生背板漏电的情况。进一步地，在刻蚀第二介质层以形成空腔的过程中同时刻蚀去除各声孔底部多出来的屋檐阻挡部，以简化工艺过程，并避免额外的屋檐阻挡部去除工艺给器件性能带来不利影响。
mems 麦克风及其制造方法

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