专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有可调固有频率的MEMS系统扫描镜-CN200380108793.9无效
  • 傅冶中;郭廷栋 - 先进奈米系统公司
  • 2003-11-10 - 2006-02-22 - G02B26/08
  • 在本发明的一个实施例中,一MEMS结构包括一第一电极、一第二电极和一移动元件。所述第一电极耦合到一第一电压源。所述第二电极耦合到一第二电压源。所述移动元件包括一耦合到一第三电压源的第三电极。所述第一电极与所述第三电极之间的一稳定电压差用以将所述结构的固有频率(natural frequency)调谐到一应用的扫描频率。在所述应用的扫描频率下,在所述第二电极与所述第三电极之间的一振荡电压差用以使所述移动元件振荡。在一个实施例中,所述移动元件为一镜面。
  • 具有可调固有频率mems系统扫描

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