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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]衬底盒-CN201911268417.5在审
发明人： 伯恩哈德·博格纳 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种用于容纳堆叠在彼此之上的若干衬底(32)(特别是晶圆)的衬底盒(10)，该衬底盒具有包括第一侧部(14)和平行于第一侧部(14)的第二侧部(16)的壳体(12)，其中，设置有至少一个细长的第一支撑件(20)，用于壳体(12)内的侧部(14、16)之间的衬底(32)，所述支撑件(20)至少部分地与第一侧部(14)间隔开，其中第一侧部(14)最靠近所述至少一个第一支撑件(20)。
衬底

[发明专利]用于防止在边缘区域被支撑的基板的变形的方法和装置-CN201580008065.3有效
发明人： 伯恩哈德·博格纳 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2015-02-11 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该方法和装置防止了在基板的边缘区域或外围支撑在支撑台或工作台上的基板(如，晶圆)的变形，并且还避免基板的有源区域的损伤和/或污染。特别地，该基板在其外围或边缘部分机械地支撑，即，仅在该基板的无源区域中机械地支撑；此外，通过气体垫在有源区域中提供额外的非机械性延伸的支撑台。该气体垫通过受控的喷嘴或排气嘴产生，用于明显的且受控的补偿基板的向下偏斜(图1)。
用于防止边缘区域支撑变形方法装置

[发明专利]末端执行器-CN201810083865.7在审
发明人： 伯恩哈德·博格纳 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种用于保持基板的末端执行器(10)，其具有多层主体(14)以及设置在主体(14)中的流体通道(34)。主体(14)包括至少两层(40，42，44；66，68)，其中至少一个层(44；68)本身不是稳定的。
末端执行器流体通道多层基板两层

[发明专利]用于末端执行器的吸附装置、末端执行器及其制造方法-CN201810084258.2在审
发明人： 伯恩哈德·博格纳 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于末端执行器的吸附装置、末端执行器及其制造方法，该吸附装置(14)包括主体(28)和密封唇(30)，所述主体具有贯通通道(36)和接触表面(38)。接触表面具有边缘(39)和凹部(40)，其中贯通通道(36)布局到凹部(40)中，并且凹部(40)终止于边缘(39)的前方。主体(28)具有基部部分(32)和邻接基部部分(32)的紧固部分(34)。在紧固部分(34)中设置有连接通道(44)，所述连接通道与贯通通道(36)流体连通，并且从紧固部分(34)的边缘延伸。
末端执行器贯通通道吸附装置凹部连接通道基部紧固边缘延伸流体连通密封唇邻接制造

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