“伏道椿”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]喷淋装置以及喷淋系统-CN202223449346.9有效
发明人： 伏道椿 -专利权人：无锡迪思微电子有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B05B1/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种喷淋装置以及喷淋系统。该喷淋装置包括喷淋管、第一输送管路、第二输送管路以及固定连接部，其中，喷淋管包括入口以及位于喷淋管的管壁上的至少六个喷嘴，多个喷嘴包括第一喷嘴，其中，远离入口的第一喷嘴的开孔的轴向方向与其他喷嘴的开孔的轴向方向不同；第一输送管路一端用于与第一储液设备连通；第二输送管路一端用于与第二储液设备连通；固定连接部用于固定喷淋管，并将第一输送管路的另一端以及第二输送管路的另一端分别与喷淋管的入口连接。该喷淋装置通过设置至少六个喷嘴，且将第一喷嘴的开孔的轴向设计成与其他喷嘴不同，解决了现有技术中喷淋装置的喷洒覆盖不完全以及药剂的热量损耗大而导致清洗能力较低的问题。
喷淋装置以及系统

[实用新型]版架、腐蚀机及显影设备-CN202121682948.1有效
发明人： 伏道椿 -专利权人：无锡迪思微电子有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种版架、腐蚀机及显影设备，版架包括底架和支撑架，支撑架设置在底架上并用于支撑掩膜版；支撑架具有用于被掩膜版覆盖的预设支撑面；沿掩膜版的外周边至其内侧的方向，预设支撑面逐渐远离掩膜版，这样可以减小支撑架的预设支撑面和掩膜版之间的接触面积，甚至可以使支撑架和掩膜版之间为线接触，进而减少掩膜版和版架之间的摩擦现象，以降低对掩模版造成划伤的风险，解决了现有技术中的版架容易对掩膜版造成划伤的问题。
版架腐蚀显影设备