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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于引导辐射束的光学模块-CN200980151391.4有效
发明人：马库斯.豪夫;塞韦林.沃尔迪斯;威尔弗里德.诺埃尔;伊维斯.彼得蒙德;马科.杰斯曼;洛萨.库尔泽;卡格拉.阿塔曼 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2009-10-19 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：一光学模块用于引导EUV辐射束。该光学模块具有：能被抽空的腔室(32)和容纳在腔室(32)中的至少一个反射镜。反射镜具有：多个个体反射镜(27)，它们的反射面(34)彼此互补以形成总反射镜反射面；支承结构，各自通过导热部(37)机械连到各个体反射镜(27)的反射镜本体(35)；反射镜本体(35)的至少一些具有关联致动器(50)，用于实现反射镜本体(35)相对支承结构(36)在至少一个自由度上的预定位移。导热部(37)设计成将反射镜本体(35)吸收的至少1kW/m2的热功率密度散失到支承结构(36)。在光学模块的一方面，集成电子位移电路与空间邻近的可发生位移的个体反射镜(27)的每一个关联。此变型例中，中央控制装置与可发生位移的个体反射镜(27)的集成电子位移电路有信号连接。结果得到一种光学模块，可用于构造即使个体反射镜上有不可忽视的热负荷也能确保高EUV辐射吞吐量的照明光学系统。
用于引导辐射光学模块

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