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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[其他]薄膜形成装置-CN87104933无效
发明人：伊藤弘基;伊奈照夫 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 1987-07-14 - 公布日： 1988-01-27 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：本发明的薄膜形成装置具有真空槽和内部槽，在内部槽设有喷射气体的喷嘴，同时，切去相当于从喷嘴喷出的气体的通路部分的内部槽壁，并在反应性气喷出的真空槽内设置印刷电路板，在内部槽内的反应气体通路方向设置电子束引出电极及电子束放出装置，在内部槽的反应气体通路及上述壁面的切去部分之间安装加速电极。本发明的薄膜形成装置具有高速蒸镀，以获得不同膜质的高功能薄膜。并可在较低的温度形成薄膜。
薄膜形成装置

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共 1 条

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