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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]薄片晶圆传输方法-CN202111651982.7在审
发明人： 仲召明;何西登;闵少敏;刘鑫;陆圣平;张炜;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提出的薄片晶圆传输方法，针对不同厚度的薄片晶圆，在不同传输阶段，伯努利机械手采用不同的气体流量，解决晶圆在传输过程中碎片问题。具体地，在晶圆从晶圆盒搬出的过程中，伯努利机械手采用较小的气体流量，减小对晶圆的吸附力，削弱晶圆的翘曲形变，从而降低晶圆在搬出晶圆盒过程中产生隐裂或碎片的风险；在晶圆从晶圆盒搬出之后，传输至处理室的过程中，伯努利机械手采用较大的气体流量，增大对晶圆的吸附力，以确保晶圆在传输过程中能够稳定的吸附在伯努利机械手上，避免出现滑片。
薄片传输方法

[发明专利]排气装置-CN202111439859.9在审
发明人：韩晗;何西登;韩阳;谢思媛;秦真江;理奇;李军世;仲召明;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提出的排气装置，包括具有进气口与排气口的管体、安装在管体上的具有挡板转动轴、固定安装在管体外部的限位板和安装在限位板上的旋钮，旋钮一端与转动轴的一端配合，并能够沿转动轴的轴线滑动，旋钮与转动轴之间设置有弹性元件，旋钮的侧壁具有与限位板开设的限位部适配的定位部，当旋钮挤压弹性元件向管体内部方向移动时，旋钮的定位部与限位板的限位部脱离，旋钮处于解锁位置，通过转动旋钮能够带动转动轴同步转动，以调整挡板的开度；当弹性元件复位时，旋钮的定位部与限位板的限位部配合，旋钮处于锁紧位置，以使挡板限定在固定开度。
排气装置

[发明专利]晶圆清洗装置-CN202111434855.1在审
发明人：何西登;韩阳;仲召明;黄天宇;赵运翔;陶晓峰;邓新平;贾社娜;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提出的晶圆清洗装置，包括旋转轴，设置在旋转轴顶部的用于保持晶圆的卡盘，同轴穿设在旋转轴内部的固定轴，分别封堵固定轴顶部和底部的上端盖和下端盖；其中，固定轴为中空轴，其壁面上开设有至少一圈排气孔，下端盖配置有进气口，通过进气口向固定轴内部提供保护气体，保护气体经由所述至少一圈排气孔在固定轴和旋转轴之间的环隙形成正压。本发明通过在固定轴的壁面上开设排气孔，向固定轴与旋转轴的间隙提供正压保护气体，形成气封，以阻止旋转轴底部区域产生的颗粒及金属等污染物经固定轴与旋转轴的环隙扩散至晶圆背面，从而提高清洗后晶圆背面的洁净度。
清洗装置

[实用新型]屋面花架梁及外墙装修施工可移动式操作平台-CN202122523264.3有效
发明人：邢茂志;李克军;潘海宁;仲召明;王明明 -专利权人：山东屋好美装饰设计有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： E04G1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种屋面花架梁及外墙装修施工可移动式操作平台，属于建筑施工设备技术领域，包括移动底座、固定机构、收纳箱、箱盖、支架系统、连接件和围栏系统，所述固定机构呈环列分布在移动底座上端四边框处，且固定机构相邻之间高度位置呈交错分布，其特征在于，所述固定机构包括双头螺杆、手柄、旋转凸台、旋转支杆、移动套杆、限位支杆和挤压头；所述双头螺杆的中间位置加工有手柄，且双头螺杆在螺纹与手柄之间的位置加工有旋转凸台，并且旋转凸台旋转配合在旋转支杆的一端；所述旋转支杆的另一端与移动底座固定连接在一起。与现有技术相比较具有降低施工人员的体力负担，提高施工便捷性的特点。
屋面花架外墙装修施工移动式操作平台

[发明专利]管路连接结构-CN201911411132.2在审
发明人：王双五;贾社娜;仲召明;邓新平;王晖 -专利权人：盛美半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： F16L5/12 文献下载
摘要：本发明提供一种管路连接结构，包括管路、箱体壁及辅助件；其中，箱体壁上设置有贯穿箱体壁的安装孔；辅助件位于安装孔内，辅助件包括容纳管路的贯通孔，辅助件的外壁与箱体壁进行第一可拆卸连接，辅助件的内壁与管路进行第二可拆卸连接，通过辅助件密封管路与箱体壁。本发明的管路连接结构在满足密封的前提下，可降低传输物质的泄漏概率；辅助件采用可拆卸连接，可方便工作人员对管路连接结构的维护及对连接部件的更换操作；将管路贯穿辅助件的贯通孔，可降低管路连接结构对连接部件的密封精度要求，降低成本；从而可节省人力资源及物力资源、提高产品质量，提高安全性。
管路连接结构

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