专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN200810108448.X无效
  • 窪田亮;长井信孝;仓智司 - 恩益禧电子股份有限公司
  • 2008-05-30 - 2008-12-03 - H01L21/822
  • 一种半导体器件,制造该半导体器件包括如下步骤:形成延伸穿过第一绝缘膜和绝缘中间层的孔,其中,第一绝缘膜和绝缘中间层堆叠在半导体衬底上方,允许孔的内壁的侧蚀刻具体地在绝缘中间层的一部分中进行,从而形成使第一绝缘膜从孔的边缘朝向中心突出的结构;形成下电极膜,该下电极膜在第一绝缘膜的顶表面、侧面和后表面的上方及孔的内壁和底表面的上方延伸;在孔中填充保护膜;去除具体地落在第一绝缘膜的顶表面和侧面的部分中的下电极膜;去除保护膜;以及在孔中形成圆柱电容器。
  • 半导体器件及其制造方法

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