专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]以高横向分辨率测定内部膜应力的方法和装置-CN99102479.6无效
  • 亚历山大·米凯利斯 - 西门子公司
  • 1999-03-04 - 1999-09-29 - G01L1/24
  • 本发明提供了一种用于以高横向分辨率测定样品上内部膜应力的方法和装置。所述样品包括至少一种材料且具有平整的或平滑的表面。为了确定内应力,建立了表示一组第一椭圆参数幅值与一组第一应力值关系的标定曲线。由此得到一个第一应力值与一个第一椭圆幅值的关系。然后,转动需确定应力的样品,该转动是样品转角α的函数,并在样品的选定区域测量一组第二椭圆参数以确定第二椭圆幅值。随后用第二椭圆幅值作为标记根据标定曲线确定相应应力值而从标定曲线上确定样品选定区域上的内应力。
  • 横向分辨率测定内部应力方法装置

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