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[发明专利]用于校准安装在主动磁悬浮支座上的机器人的方法-CN201280004270.9无效
发明人： 乌尔里希·奥尔登多夫 -专利权人：萨米列弗有限公司
申请日： 2012-06-19 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：用于校准安装在主动磁悬浮支座上且具有夹具的机器人的方法，该夹具沿z轴线竖直可定位且在第一磁悬浮支座中沿x轴线可移动且在第二磁悬浮支座中沿y轴线可移动。通过本发明试图能够快速且精确地定向机器人的夹具。这通过以下步骤实现：将第一和第二磁悬浮支座划分成每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）；限定对于X、Y、Z轴线的设定点中心坐标以及对于角位置δ、ε的设定点值并且将设定点值变换成对于每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的竖直设定点位置的设定点值，对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的电磁体指定致动力F1-F4；对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）确定在每种情况下的当前竖直位置；测量所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的当前竖直位置z且转换成实际中心坐标；将实际中心坐标与设定点中心坐标进行比较，确定偏差且重复前述步骤。
用于校准安装主动磁悬浮支座机器人方法

[发明专利]基底无微粒处理装置-CN201080023332.1无效
发明人：马丁·安尼斯;克里斯托夫·克莱森;乌尔里希·奥尔登多夫;托马斯·西博尔德 -专利权人：萨米列弗有限公司
申请日： 2010-05-26 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及在洁净室条件下在微环境内根据微技术的基底无微粒处理的装置。本发明的任务是提供一种基底处理装置，所述基底处理装置无摩擦地工作，因此无微粒。根据本发明设计了用于该装置的数个自由度，由此至少在x-轴、y-轴、z-轴和Φ-方向上被磁性地且无接触地支撑和/或引导，由此轴和方向中的每个的支撑与驱动无接触且电磁地实现，由此用于承载和驱动的能量的传递以无接触的方式实现。设计有至少一个主动部件(3)和至少一个被动部件(2)，由此将可移动的主动部件(3)通过磁性轴承(4、5)引导成悬挂在固定的被动部件(2)处，由此与主动部件(3)一起运行的驱动电机(7)与通过电磁耦合装置实现的能量供应器耦合。
基底微粒处理装置

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