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- [发明专利]热处理装置-CN202110018775.1有效
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奥村昌伦;中谷淳司
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捷太格特热系统株式会社
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2021-01-07
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2023-07-25
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F27D7/02
- 本发明提供热处理装置，能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物的热处理的热处理装置的结构复杂化，并且能够抑制在进行被处理物的热处理的热处理室内产生气氛的停滞。热处理装置(1)具有热处理室(11)、水蒸汽供给部(13)以及水蒸汽排出部(15)。热处理室设置有供被处理物(10)搬入的入口(31)和供被处理物搬出的出口(32)，并且进行从入口向出口运送的被处理物的热处理。水蒸汽供给部设置在热处理室的加热区域(HR)，向热处理室内供给过热水蒸汽。水蒸汽排出部在热处理室中相对于水蒸汽供给部分别设置在入口侧和出口侧，将热处理室内的过热水蒸汽向热处理室的外部排出。
- 热处理装置
- [发明专利]基板支承结构-CN201810869433.9有效
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中谷淳司
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光洋热系统株式会社
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2014-09-17
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2022-12-16
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H01L21/687
- 本发明提供一种基板支承结构，即使输送精度、装置的安装精度、支承位置的精度等存在误差，也能防止基板从支承部脱落或接触到不可接触范围。本发明的基板支承结构(1)具备基板支承构件(2)和保持构件(3)。基板支承构件(2)从基端侧向前端侧延伸，利用形成在上侧的支承部(2C)支承被处理基板(W)。保持构件(3)在基板(W)的支承位置的两侧处将基板支承构件(2)保持成支承部(2C)从基端(2A)侧朝向前端(2B)侧向下方倾斜。
- 支承结构
- [发明专利]热处理装置-CN202111046701.5在审
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中谷淳司
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光洋热系统株式会社
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2021-09-06
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2022-09-02
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F27B17/00
- 本发明提供一种热处理装置，在将被处理物输送到热处理炉内并支承于支承件时，不会对被处理构件产生热冲击。所述热处理装置具备：热处理炉，形成热处理空间；支承件，设置在所述热处理空间内；输送装置，在将被处理物从所述热处理空间外输送到所述热处理空间内之后，使所述被处理物支承于所述支承件；以及温度检测装置，检测由所述输送装置输送到所述热处理装置内的所述被处理物的温度。所述输送装置基于由所述温度检测装置检测到的温度，决定将由所述输送装置输送到所述热处理装置内的所述被处理物支承于所述支承件的时刻。
- 热处理装置
- [发明专利]热处理装置-CN202111086836.4在审
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中谷淳司
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光洋热系统株式会社
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2021-09-16
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2022-09-02
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F27D3/00
- 本发明提供一种热处理装置，能够简化结构且防止输送用杆的高热化。所述热处理装置包括：输送室；与输送室连接的热处理炉；输送用杆，具有沿着前后方向延伸的棒状，具有支承被处理物的输送用杆前端部；以及驱动装置，使所述输送用杆沿着前后方向移动。此外，所述热处理装置具备：气体供给部，向所述输送室供给冷却气体，所述冷却气体具有与热处理气体相同的成分且比所述热处理气体的温度低的温度；以及整流构件，将所述冷却气体向位于所述输送室内的所述输送用杆前端部引导。
- 热处理装置
- [发明专利]水分分离装置-CN202110576522.6在审
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中谷淳司
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光洋热系统股份有限公司
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2021-05-26
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2022-02-18
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B01D53/26
- 【课题】提供一种水分分离装置，其能够抑制设备成本和设置空间的增大，同时能够提高对样气的冷却效率而实现水分的分离能力的提高，进而能够容易地回收水分且有效地引导样气。【解决手段】包含水分的样气被导入第1配管(11)并向下方流动。第2配管(12)在内侧配置有第1配管(11)，冷却气体被导入第2配管(12)并向下方流动。在出口室(13)，从第1配管(11)导入样气，同时分离出的水分从第1配管(11)的下端部滴落。水分回收室(14)在出口室(13)的下方与出口室(13)连通，回收分离出的水分。样气引导部(15)与出口室(13)连通，引导流出到出口室(13)的样气。
- 水分分离装置
- [发明专利]热处理装置-CN202011493831.9在审
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中谷淳司
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光洋热系统株式会社
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2020-12-17
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2021-06-22
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F27B17/00
- 本发明提供热处理装置。热处理炉(20)具有被输送被处理物(WK)开口(201)。输送室(30)经由开口(201)与热处理炉(20)连接。输送室(30)具有开口(301)。输送用杆(41、42)插通开口(201)和开口(301)。输送装置(50)使输送用杆(41、42)的延伸方向的第一端部(4111、4211)在输送室(30)内或者热处理炉(20)内移动。支承部件(412、422)配置在输送用杆(41)、(42)的第一端部(4111、4211)的部分。支承部件(412、422)在朝比输送用杆(41、42)的上端靠上侧突出而能够载置被处理物(WK)的第一形态和配置在比上端靠下侧的第二形态之间进行切换。
- 热处理装置
- [发明专利]热处理装置-CN201910930690.3在审
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中谷淳司;严敏和;森本章太郎
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光洋热系统股份有限公司
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2019-09-29
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2020-06-23
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F27B5/16
- 本发明提供热处理装置。在热处理装置中，使对被处理物进行热处理的工作区的各部分中的温度分布更加均匀。热处理装置(1)具有：工作区(4)，其包括热处理用气体所流入的上风部(7)和处理用气体所流出的下风部(5)，在上风部(7)与下风部(5)之间配置被处理物(100)；吸入口(17)，其通过下风部(5)吸入工作区4)内的热处理用气体；以及下风流量调整部(6)。下风流量调整部(6)构成为将下风部(5)中相对接近吸入口(17)的近位部(27)中的热处理用气体的流量设定为小于相对远离吸入口(17)的远位部(28)中的热处理用气体的流量。
- 热处理装置
- [发明专利]基板支承结构-CN201410474841.6有效
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中谷淳司
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光洋热系统株式会社
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2014-09-17
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2019-01-04
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H01L21/683
- 本发明提供一种基板支承结构，即使输送精度、装置的安装精度、支承位置的精度等存在误差，也能防止基板从支承部脱落或接触到不可接触范围。本发明的基板支承结构(1)具备基板支承构件(2)和保持构件(3)。基板支承构件(2)从基端侧向前端侧延伸，利用形成在上侧的支承部(2C)支承被处理基板(W)。保持构件(3)在基板(W)的支承位置的两侧处将基板支承构件(2)保持成支承部(2C)从基端(2A)侧朝向前端(2B)侧向下方倾斜。
- 支承结构
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