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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]微细加工处理剂以及微细加工处理方法-CN202180075359.3在审
  • 伊达和哉;中田和;长谷部类;二井启一 - 斯泰拉化工公司
  • 2021-10-27 - 2023-07-07 - H01L21/308
  • 本发明提供一种微细加工处理剂以及微细加工处理方法，其在对至少包含氮化硅膜、氧化硅膜以及硅合金膜的层叠膜进行微细加工时能够选择性地对氧化硅膜进行微细加工。本发明的微细加工处理剂是用于至少包含氧化硅膜、硅氮化膜以及硅合金膜的层叠膜的微细加工的微细加工处理剂，其包含：(a)0.01质量％～50质量％的氟化氢、(b)0.1质量％～40质量％的氟化铵、(c)0.001质量％～10质量％的水溶性聚合物、(d)0.001质量％～1质量％的具有羧基的有机化合物、和(e)作为任意成分的水，水溶性聚合物为选自由丙烯酸、丙烯酸铵、丙烯酰胺、苯乙烯磺酸、苯乙烯磺酸铵和苯乙烯磺酸酯组成的组中的至少一种，选择性地对氧化硅膜进行微细加工。
  • 微细加工处理以及方法
  •  1 
  • 共 1 条
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