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[发明专利]一种压力控制的快速响应方法及装置-CN202310877083.1在审
发明人：吴涛;吴路路;姚涛 -专利权人： 中导半导体（合肥）有限公司
申请日： 2023-07-17 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力控制的快速响应方法及装置。所述快速响应方法包括：根据真空反应腔体内的目标压力，通过一个对应关系表获取相应的预设编码值；根据预设编码值，控制电机驱动阀板在相应的预设位置上；当阀板在相应的预设位置上时，采集真空反应腔体内的压力作为当前压力；根据当前压力与目标压力的压力差值得到相应的编码差值，由此控制电机驱动调整阀板的相应位置。本发明通过控制器先加载变化后压力对应的位置，在开环的情况下让阀板快速运动到预设位置；当阀板到预设位置后，读取当前压力，并与设定的工作压力做比较，形成压力环控制，保证压力控制精度，这样整个过程就省去了前面大部分行程的压力调节时间。
一种压力控制快速响应方法装置

[发明专利]一种抗腐蚀性实现单向导通的单向阀-CN202310737932.3在审
发明人：张进;吴路路 -专利权人： 中导半导体（合肥）有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16K15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗腐蚀性实现单向导通的单向阀，其包括进口端阀体、出口端阀体、单向控制组件。单向控制组件包括组装在进口端阀体的连通槽内的密封台、弹簧和镂空垫片。弹簧的外表裹覆有防腐蚀性套管，密封台面向弹簧的一侧设置有“凸”字形的凸起，镂空垫片通过套在凸起的凸出部上的方式定位装配在凸起上，镂空垫片与密封台之间形成流通空间。弹簧的两端抵持在镂空垫片与出口端阀体的插接槽的底壁之间。本发明通过在弹簧的外表裹覆有防腐蚀性套管，防止弹簧被腐蚀，延长弹簧的使用寿命，还通过设计流通空间，即便在弹簧因受压形成筒状，也不会与密封台之间形成一个封闭空间，彻底解决液体堵塞的问题或者气体气压过强的问题。
一种腐蚀性实现向导单向阀

[发明专利]一种高速开关的大型门阀-CN202310598872.1在审
发明人：吴大鹏;董方方;张进 -专利权人： 中导半导体（合肥）有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16K1/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种高速开关的大型门阀。该门阀包括：支撑装置、密封装置以及驱动装置。支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布，两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动组件。传动组件包括第一摆杆、第二摆杆及顶杆，与横梁一同构成平面四杆机构。每组传动组件的顶杆从多个型号的顶杆组成的套件中择一选取。顶杆靠近密封板的一侧为平行于密封板的挤压侧，套件中的各型号顶杆与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度，提升真空镀膜腔体开口的密封效果。
一种高速开关大型门阀

[实用新型]一种开关电磁阀-CN202222043169.8有效
发明人：吴涛 -专利权人： 中导半导体（合肥）有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种开关电磁阀，该电磁阀包括：阀体，具有阀口；阀盖；静铁芯；动铁芯；套筒；弹簧；密封圈；电磁线圈；电磁外壳；开口卡环。通过对电磁线圈通电而使动铁芯移动；静铁芯和动铁芯同轴设置且具有轴向间隙，套筒以其开放部插入到与阀盖的孔内；阀盖与阀体通过螺纹连接，密封圈实现静密封。静铁芯与电磁线圈通过开口卡环连接。在动铁芯和阀体开口之间设有缓冲件，以减缓在开阀过程中动铁芯的预定速度，进而降低动铁芯与阀体之间的撞击力，从而降低动铁芯和阀体在撞击瞬间所产生的动作噪音。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的开关电磁阀响应时间慢，开关不稳定的问题。
一种开关电磁阀

[发明专利]一种通过真空系统使用的电磁线圈驱动的气体开关电磁阀-CN202210932496.0在审
发明人：吴涛 -专利权人： 中导半导体（合肥）有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明公开一种通过真空系统使用的电磁线圈驱动的气体开关电磁阀，该电磁阀包括：阀体，具有阀口；阀盖；静铁芯；动铁芯；套筒；弹簧；密封圈；电磁线圈；电磁外壳；开口卡环。通过对电磁线圈通电而使动铁芯移动；静铁芯和动铁芯同轴设置且具有轴向间隙，套筒以其开放部插入到与阀盖的孔内；阀盖与阀体通过螺纹连接，密封圈实现静密封。静铁芯与电磁线圈通过开口卡环连接。在动铁芯和阀体开口之间设有缓冲件，以减缓在开阀过程中动铁芯的预定速度，进而降低动铁芯与阀体之间的撞击力，从而降低动铁芯和阀体在撞击瞬间所产生的动作噪音。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的开关电磁阀响应时间慢，开关不稳定的问题。
一种通过真空系统使用电磁线圈驱动气体开关电磁阀