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- [发明专利]一种微动台-CN202310861544.6有效
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梁德志;王振华;章震宇
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-07-14
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2023-10-17
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G12B5/00
- 本发明涉及精密设备技术领域，公开一种微动台。其中微动台包括底部驱动装置、中间驱动装置和顶部驱动装置。底部驱动装置包括底板和第一驱动组件，底板设置有沿第一方向延伸的第一滑轨；中间驱动装置包括中间板和第二驱动组件，中间板的底部安装有第一滑块，第一滑块滑动连接于第一滑轨，第一驱动组件安装于底板上，且驱动连接于中间板；中间板的顶面设置有沿第二方向延伸的第二滑轨，第二方向在经过第一方向的竖直平面上的投影与第一方向呈夹角设置；顶部驱动装置包括顶板，顶板的顶面用于安装待安装物，顶板的底面安装有第二滑块，第二滑块滑动连接于第二滑轨；第二驱动组件安装于中间板上，且驱动连接于顶板。
- 一种微动
- [实用新型]一种推顶装置-CN202223493416.0有效
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高元桢;唐艳文;袁嘉欣;吴火亮;江旭初
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-12-27
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2023-10-13
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H01L21/677
- 本实用新型提供一种推顶装置，该推顶装置包括升降驱动部件和接片部件，升降驱动部件位于接片部件下方以驱动接片部件做升降运动，接片部件能够相对于升降驱动部件做旋转运动，接片部件和升降驱动部件设置有旋转解耦部件以使接片部件做旋转运动时，升降驱动部件不随接片部件运动。本实用新型的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。
- 一种装置
- [发明专利]一种阻尼减振结构及微动台-CN202310876466.7有效
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龚威;王振华
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-07-18
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2023-10-03
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F16F15/00
- 本发明涉及微动台技术领域，公开一种阻尼减振结构及微动台。其中阻尼减振结构包括框体、内核和驱动装置。内核设置于框体内；驱动装置安装于框体上，驱动装置包括第一驱动组件，第一驱动组件用于驱动内核沿第一方向移动；第一驱动组件包括第一压电薄膜片、两个第一柔性片和两个第一支撑件，两个第一柔性片位于内核沿第一方向的两侧，且第一柔性片连接于框体；第一柔性片靠近内核的一侧连接有第一支撑件，第一支撑件抵接于内核，且第一支撑件能够相对内核的侧壁滑动；至少一个第一柔性片背离内核的一侧连接有第一压电薄膜片。本发明实现了对动子进行主动减振，响应及时，提高减振效率提高微动台的移动精度。
- 一种阻尼结构微动
- [实用新型]一种密封卡套接头-CN202320691160.X有效
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江旭初;雒佳;彭仁强;周羽;陈啸虎;吴火亮
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-03-31
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2023-10-03
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F16L19/065
- 本实用新型涉及管路连接技术领域，公开一种密封卡套接头。其中密封卡套接头的夹紧机构设置有台阶孔，大径段的内壁设置有第一内螺纹；夹紧机构沿径向环设有至少一个第一螺纹孔，第一螺纹孔环设于第一内螺纹与第一外螺纹螺纹连接部位的外侧，顶丝螺纹连接于第一螺纹孔且抵接于大径段的外壁；卡套组件一端抵接于台阶孔的第一台阶面，另一端的外壁设置有第一外锥面；锁紧密封接头设置有连接部，连接部的外壁设置有与第一内螺纹配合的第一外螺纹，连接部还设置有连接孔，连接孔设置有与第一外锥面密封抵接的第一内锥面；第一衬套用于支撑管路的内壁。本实用新型实现卡套组件与管路之间密封满足使用需求，且解决了卡套可能存在的松脱或崩落问题。
- 一种密封接头
- [实用新型]一种管路接头装置-CN202320691344.6有效
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江旭初;雒佳;彭仁强;周羽;陈啸虎;吴火亮
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-03-31
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2023-10-03
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F16L19/065
- 本实用新型涉及管路连接技术领域，公开一种管路接头装置。其中管路接头装置包括压紧组件、卡口组件、密封接头和第一内衬。压紧组件设置有阶梯孔，阶梯孔的大径段的内壁设置有第一内螺纹；卡口组件一端抵接于阶梯孔的第一阶梯面，另一端的外壁设置有第一外锥面；密封接头设置有连接部，连接部的外壁设置有与第一内螺纹配合的第一外螺纹，连接部还设置有连接孔，连接孔设置有与第一外锥面密封抵接的第一内锥面；第一内衬用于支撑管路的内壁；管路依次穿设于阶梯孔的小径段、卡口组件并伸入连接孔内；第一内螺纹螺纹连接于第一外螺纹，以使第一内锥面驱动卡口组件密封抵接于管路的外壁，且能够调节卡口组件与管路之间的卡紧力。
- 一种管路接头装置
- [发明专利]运动系统-CN202210768415.8有效
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龚威;王振华;朱凯;梁德志;夏慧超
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-07-01
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2023-09-26
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F16F15/04
- 本发明提供了一种运动系统，运动系统包括精密运动装置和自适应减振装置，自适应减振装置包括柔性感应部、功率放大器和压电陶瓷致动器，在运动机构加减速过程中，柔性感应部随运动机构运动，柔性感应部在运动过程中弹性变形并将变形量转化为电信号，然后功率放大器对柔性感应部发出的信号进行放大作用后输送至压电陶瓷致动器从而控制压电陶瓷致动器动作，压电陶瓷致动器对支撑框架施加平衡力矩，平衡力矩为和偏转力矩方向相反的一对力偶，从而抵消了运动机构在竖直方向的偏转力矩，极大地削弱了由偏转力矩引发的振动对精密运动装置的运动精度和稳定性产生的影响。并且，本方案简化了信号传递链路和处理环节，整个信号传递链路相对简单且高效。
- 运动系统
- [发明专利]一种工件的位置调整方法及系统-CN202310508847.X有效
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陈椿元;伍金龙
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-05-08
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2023-09-26
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H01L21/68
- 本申请公开了一种工件的位置调整方法及系统。该方法包括：控制水平运动装置和垂向运动装置带动承载平台上的工件移动，根据水平运动装置和垂直运动装置的运动数据确定工件的实际高度值，根据实际高度值和目标高度值的差值控制垂向运动装置运动，使工件移动至目标高度值；控制水平旋转装置带动承载平台旋转，若工件超出检测范围，重新控制水平运动装置、垂向运动装置以及水平旋转装置运动，直至工件移动至检测范围内，根据重新确定的高度值差值控制垂向运动装置运动，使工件移动至目标高度值。通过本申请，解决了相关技术中在硅片的加工和检测的过程中，需要复杂的装置和较高的成本才能提高加工/检测点位的高度的定位精度的问题。
- 一种工件位置调整方法系统
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