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[发明专利]恒温液态源鼓泡器-CN202210318784.7有效
发明人：陈亮 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B01F23/231 文献下载
摘要：本发明涉及半导体外延设备领域内的一种恒温液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及换热盘管；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，液体加注管的一端自筒体的顶部进入筒体内，出气管的一端与筒体顶板上的通孔密封连接，换热盘管以螺旋的方式盘旋成柱形至于筒体内，换热盘管通过位于筒体外的进口和出口进行换热流体的循环流动，使筒体内的液体达到预设温度并保持。本发明通过换热盘管的换热流体持续流动使得筒体内的液体的温度能够保持在恒定的温度范围内，进而使得位于液体内的饱和气体的浓度稳定，提高了饱和气泡对液体的携带效率。
恒温液态源鼓泡器

[发明专利]液态源鼓泡器-CN202210320150.5有效
发明人：陈亮 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B01F23/231 文献下载
摘要：本发明涉及半导体外延设备领域内的一种液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及气泡分布器；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，气泡分布器位于进气管的出气口上方，液体加注管的一端自筒体的顶板进入筒体内，出气管的一端与筒体的顶板上的通孔密封连接；液体经液体加注管加入筒体内，气体通过出气口进入筒体内并形成气泡，上移的气泡穿过气泡分布器后气泡沿筒体的径向方向扩散且粘连的气泡被分离，经扩散与分离的气泡上移并通过出气管通入外部反应装置。本发明通过气泡分布器即提高了气泡的独立性，又提高了气泡的分布面积，从而提高了气泡将液体带离的效率。
液态源鼓泡器

[发明专利]鼓泡装置、液态源鼓泡系统、方法及半导体工艺系统-CN202310524059.X在审
发明人：纪雪峰;陈亮;范威威 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及一种鼓泡装置、液态源鼓泡系统、方法及半导体工艺系统，包括气体供应单元、液体供应单元、鼓泡单元、气体输出单元、吹扫单元和排气单元。其优点在于，利用氢气作为推进气体通入鼓泡单元内，增加液态源转化为气体的效率，提升供气效率。还通过鼓泡单元内的液位监测元件测量鼓泡元件内的液位，并设定液位值，并在浮球传感器检测到鼓泡元件内液位达到液态源鼓泡系统设定的液位值的情况下，液态源鼓泡系统控制液位供应单元关闭，保证鼓泡元件内液位符合鼓泡反应效率最高下的标准，保证鼓泡效率。此外，通过鼓泡单元内的温度检测元件和液位监测元件监测鼓泡元件内的液体的液位高度以及温度。
装置液态源鼓泡系统方法半导体工艺

[发明专利]TCS鼓泡供应系统及其控制方法-CN202310186560.X在审
发明人：范威威;纪雪峰;陈亮 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：本发明提供一种TCS鼓泡供应系统及其控制方法，该TCS鼓泡供应系统包括液态源鼓泡器、进液管路、进气管路、蒸汽排出管路和控制单元；所述液态源鼓泡器包括鼓泡容器，所述进液管路与所述鼓泡容器的进液口连通，所述进气管路与所述鼓泡容器的进气口连通，所述蒸汽排出管路与所述鼓泡容器的蒸汽出口连通；所述鼓泡容器内设有液位传感器和温度传感器，所述液位传感器为磁致伸缩液位传感器；所述进液管路、所述进气管路和所述蒸汽排出管路上分别设有第一开关阀、第二开关阀和第三开关阀，所述液位传感器、所述温度传感器、所述第一开关阀、所述第二开关阀和所述第三开关阀均与所述控制单元信号连接。
tcs 供应系统及其控制方法

[发明专利]一种基于流量控制的液态源气体中的He分子剥离装置-CN202310121453.9在审
发明人：陈亮;纪雪峰;范威威 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B01D46/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于流量控制的液态源气体中的He分子剥离装置，包括气液分离器，所述气液分离器包括原液流通部件、真空接口和漏液检测接口，所述壳体包括筒体和固定安装于筒体内部的滤膜渗透管，所述原液流通部件、真空接口和漏液检测接口均与筒体固定连通；所述漏液液位传感装置包括密封容器和设置于密封容器内的检测波导杆，所述检测波导杆底部过滑动安装有磁环浮球，本发明使用渗透滤膜管实现器液分离功能，结合液位传感器检测原理，利用磁场进行漏液测量，将液态源气体中的He分子进行剥离，在减轻流量计的负担的同时，不影响液态源的稳定供应，同时能够防止液态源泄漏，符合危险化学液体的控制需求。
一种基于流量控制液态气体中的 he 分子剥离装置

[发明专利]混合气体供应系统-CN202310219896.1在审
发明人：范威威;纪雪峰;陈亮 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种混合气体供应系统，包括第一进气管路、第二进气管路、混合管、缓冲罐、混合气供气管路、第一气体分析仪、第二气体分析仪和控制模块；所述第一进气管路上设有第一质量流量控制器，所述第二进气管路上设有第二质量流量控制器，所述第一气体分析仪、所述第二气体分析仪、所述第一质量流量控制器和所述第二质量流量控制器均与所述控制模块信号连接。该混合气体供应系统能够及时检测混合气体的参数是否达标，并根据当前混合气体的参数及时调整供气流量，使混合气体的参数处于设定范围内并保持稳定，从而提高系统的可靠性和生产的稳定性。
混合气体供应系统

[发明专利]一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统-CN202211451356.8在审
发明人：纪雪峰;陈亮;范威威 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-11-20 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： F17D1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统，包括储液单元、缓冲单元、气体供应单元、气液分离单元、排气单元、吹扫单元、管路单元和压力监测单元。其优点在于，利用储液单元和缓冲单元进行双重备份，在储液单元的液态源不足的情况下，可以仅关闭储液单元，缓冲单元继续向工艺腔室供应液态源，避免出现停机在启动的情况，大大提高生产效率，提高生产良率，减少无谓的损失；利用排气单元和吹扫单元的双重作用，可以在更换储液单元时，对于储液单元连通的管路单元进行排气和吹扫，保证管路单元洁净无杂质，避免污染更换后的储液单元；利用气液分离单元对液态源进行气液分离，避免携带微量气体的液态源进入工艺腔室，保证生产稳定性。
一种液态供应装置方法半导体工艺系统

[发明专利]一种气体混合缓冲装置及半导体工艺系统-CN202211451351.5在审
发明人：范威威;纪雪峰;陈亮 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-11-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体混合缓冲装置，包括：混合缓冲单元，用于混合气体，所述混合缓冲单元包括：混合缓冲元件；第一连接元件，所述第一连接元件设置于所述混合缓冲元件的一侧，并与所述混合缓冲元件连通，用于供气体流入；第二连接元件，所述第二连接元件设置于所述混合缓冲元件的一侧，并与所述混合缓冲元件连通，用于供气体流出。其优点在于，通过混合缓冲单元可为混合气体进行缓冲，并使得混合气体在混合缓冲单元进一步融合，提升混合气体的混合浓度均匀性；此外，本发明中的气体混合缓冲装置还具有结构简单，制造难度较低，体积较小，便于在狭窄区域使用等优点。
一种气体混合缓冲装置半导体工艺系统

[发明专利]一种混气装置、方法及半导体工艺系统-CN202211451357.2在审
发明人：陈亮;范威威;纪雪峰 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-11-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01F23/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种混气装置、方法及半导体工艺系统，包括第一气体输送单元、第二气体输送单元、浓度监测单元、混合缓冲单元、排气单元、泄压单元和吹扫单元。其优点在于，通过浓度监测单元可以进行高精度、低浓度的气体稀释，从而满足不同的工艺要求；利用混合缓冲单元将第一气体输送单元输送的第一气源和第二气体输送单元输送的第二气源进行现场混合稀释以达到工艺要求的浓度，延长了第二气源的单次使用时间，降低更换第二气源的的频率，进提高工艺效率；通过排气单元、泄压单元和吹扫单元的配合，可以对混气装置的管路以及混合缓冲单元进行排空、吹扫、泄压，满足洁净要求，避免残留前次工艺气源，从而可以进行更换气源操作。
一种装置方法半导体工艺系统

[实用新型]一种气体混合装置及半导体工艺系统-CN202223071245.2有效
发明人：范威威;纪雪峰;陈亮 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-11-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01F23/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体混合装置，包括：气体缓冲罐，所述气体缓冲罐的内部具有密闭的腔体，且所述气体缓冲罐上具有连通外接和所述腔体的第一通孔和第二通孔；进气接头，通过所述第一通孔与所述腔体连通；出气接头，通过所述第一通孔与所述腔体连通；其中，所述进气接头和所述出气接头位于所述气体缓冲罐的同一侧。其优点在于，通过气体缓冲罐可为混合气体进行缓冲，并使得混合气体在气体缓冲罐进一步融合，提升混合气体的混合浓度均匀性；此外，本实用新型中的混合气体装置还具有结构简单，制造难度较低，体积较小，便于在狭窄区域使用等优点。
一种气体混合装置半导体工艺系统

[实用新型]一种气体混合装置及半导体工艺系统-CN202223071260.7有效
发明人：纪雪峰;陈亮;范威威 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-11-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01F23/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体混合装置及半导体工艺系统，包括：混气缓冲罐，混气缓冲罐的内部具有密闭的腔体，且混气缓冲罐上具有连通外接和腔体的第一通孔和第二通孔；进气接头，通过第一通孔与腔体连通；出气接头，通过第二通孔与腔体连通；进气管，置于腔体内，进气管的进气端与进气接头连通；其中，出气接头在混气缓冲罐上的位置远离进气管的出气端；进气管具有直管段弯管段，弯管段位于进气管的末端，以使混合气体在腔体内从所述进气管的出气端流向出气接头。其优点在于，从弯管段输送至混气缓冲罐内的气流沿一定的倾斜角度与混气缓冲罐的内底壁接触，从而使得混合气体在混气缓冲罐内出现涡流的情形，提升混合气体的浓度均匀性。
一种气体混合装置半导体工艺系统

[实用新型]一种气体混合装置及半导体工艺系统-CN202223071276.8有效
发明人：陈亮;范威威;纪雪峰 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2022-11-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01F23/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体混合装置及半导体工艺系统，包括：气体缓冲罐，气体缓冲罐的内部具有密闭的腔体，且气体缓冲罐上具有连通外界和腔体的第一通孔和第二通孔；进气接头，通过第一通孔与所述腔体连通；出气接头，通过第二通孔与腔体连通；进气管，置于腔体内，进气管的进气端与进气接头连通；至少一个缓冲盘，缓冲盘具有多个第一排气孔，缓冲盘套设在进气管上，并与进气管连通，用于向气体缓冲罐输入混合气体；其中，出气接头位于气体缓冲罐上远离进气管末端的一端。其优点在于，使得混合气体沿不同方向并分散呈多股气流的形式进入到腔体内，多股气流之间的碰撞可实现混合气体进一步混合，提升混合气体的浓度均匀性。
一种气体混合装置半导体工艺系统

[实用新型]一种用于芯片加工的针脚折弯装置-CN202122181474.9有效
发明人：黄梅芳 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B21F11/00 文献下载
摘要：本实用新型属于芯片加工技术领域，具体为一种用于芯片加工的针脚折弯装置，包括机座，所述机座上方设置有立柱，所述立柱上设置有挡圈，所述机座的两侧所述立柱之间设置有连接架，所述连接架之间设置有机架，所述机架上方设置有丝杠座，所述机座的上方两侧设置有限位座，所述限位座上方设置有紧固栓，所述限位座内设置有限位杆，所述限位杆的一侧设置有拉环，所述限位杆的另一侧设置有垫片，所述机座上方设置有芯片放置块，所述芯片放置块下方设置有定位杆。通过本实用新型能够快速对针脚待折弯芯片进行装夹，减少芯片松动带来的加工误差；适用范围广，折弯精度高；便于使用与维护，使用成本较低。
一种用于芯片加工针脚折弯装置

[实用新型]一种芯片制造的移印装置-CN202122194753.9有效
发明人：叶锦 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种芯片制造的移印装置，包括移印机构，所述移印机构上设置有用于对芯片进行转动的旋转机构，所述旋转机构一侧设置有用于将芯片送入的进料机构，所述旋转机构另一侧设置有对移印芯片进行烘干的风干机构，所述旋转机构前侧设置有用于将移印芯片移出的出料机构，所述旋转机构、所述进料机构、所述风干机构、所述出料机构均与所述移印机构连接。本实用新型通过旋转机构在转动过程由进料机构、出料机构使芯片自动向旋转机构的转动盘上进行上下料，同时通过风干机构及时对移印后的芯片进行烘干，使整个加工过程自动化进行，避免人工操作，提高了芯片移印的效率和质量。
一种芯片制造装置

[实用新型]一种适用于高可靠度芯片测试的吸盘-CN202122236342.1有效
发明人：连晓奎 -专利权人： 上海良薇机电工程有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于高可靠度芯片测试的吸盘，属于芯片检测技术领域。一种适用于高可靠度芯片测试的吸盘，包括测试台，测试台顶面中部开设有多个负压孔，测试台顶面中部固定连接有密封垫圈，密封垫圈下侧设有负压盒，负压盒底面中部固定连接有负压管，负压管内设有单向阀，负压盒左壁固定连接有泄压管，泄压管内设有泄压机构。本实用新型通过按压调节板前端，调节板后部带动泄压阀与限位环B的抵接取消，通过泄压孔慢慢地向负压盒内填充空气，使得负压盒的负压吸力逐渐减少，从而可方便的将芯片取下，操作简单，提高效率。
一种适用于可靠芯片测试吸盘

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