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[实用新型]石英加热器-CN202320113190.2有效
发明人：丁高生;葛林海;李杰;马国权;申朋举 -专利权人： 上海提牛科技股份有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F24H3/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在加热壳体内的加热装置，加热壳体上设置有进气口和出气口；还包括：一缠绕管，设置在加热壳体内，两端口分别连通进气口和出气口，缠绕管为采用石英制成的石英管。本实用新型在现有的加热壳体内增设缠绕管，该缠绕管内流通惰性气体，惰性气体隔着缠绕管在加热壳体内进行热交换，由于缠绕管采用的是石英管，即使加热装置是金属加热器，由于惰性气体本身并没有直接与加热壳体接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。
石英加热器

[发明专利]高效倒片机及其使用方法-CN202211499244.X在审
发明人：李杰;李守印;张子阳;马国权;申朋举 -专利权人： 上海提牛科技股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种高效倒片机及其使用方法。其中，一种高效倒片机，包括一机架，机架上设置有工作台；工作台上设置有第一上料口、第二上料口、第一工位和第二工位；高效倒片机还包括：第一运送机构，将放置有硅片的第一材质花篮从第一上料口运送至第一工位；第二运送机构，将空的第二材质花篮从第二上料口运送至第二工位；一硅片脱离机构，将硅片从第一材质花篮中拖起；一硅片夹取机构，将脱离的硅片进行夹取；一搬运机构，将第二材质花篮从第二工位搬运至第一工位。本发明可将第一材质花篮内的多个硅片自动的倒入第二材质花篮中。
高效倒片机及其使用方法