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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种半导体石英部件的表面毛化处理方法-CN202210252671.1在审
发明人：陈宁 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B24C1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体石英部件的表面毛化处理方法，包括如下步骤：S1、预喷砂处理：对石英部件表面进行喷砂毛化处理，处理后石英部件的表面粗糙度为目标粗糙度值的30‑70％；S2、超声波混酸刻蚀处理：将喷砂处理后的石英部件放置于槽体内，向槽体内加入混酸溶液，在20‑60℃下进行超声波处理5‑120min；S3、清洗：对刻蚀处理后的石英部件进行清洗；其中，混酸溶液由如下组分组成：氢氟酸1‑10％、硝酸10‑30％、余量为水；超声波频率为20‑60KHz，超声波功率为5‑30W/L。其能够有效阻断喷砂处理过程中在石英部件表面浅层形成的微观裂缝，避免在后续使用过程中出现“颗粒持续脱落”的现象。
一种半导体石英部件表面处理方法

[实用新型]一种半导体元件用清洗装置-CN202220730133.4有效
发明人：杨砚红 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体元件用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的顶部固定安装有清洗篮，所述清洗箱的底部固定安装有电机，所述清洗箱的内底壁上转动安装有叶轮，所述清洗箱的外侧设置有辅助组件，所述辅助组件包括固定安装在清洗箱内侧壁上的气泡箱和固定安装在清洗箱外侧壁上的动力箱，所述动力箱的内部固定安装有鼓风机。该半导体元件用清洗装置，通过设置清洗箱、清洗篮在电机和叶轮的配合下，进行浸泡式水流清洗的方式能够减少对半导体元件的表面损伤程度，同时通过设置辅助装置产生气泡，通过气泡接触半导体元件表面破裂产生作用力进行清除表面污渍，能够使得半导体全副的清洁效果好，同时使用方便。
一种半导体元件清洗装置

[发明专利]一种高温氧化裂解半导体部件表面有机沉积物的方法-CN202111428389.6在审
发明人：陈宁;阮计划 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种高温氧化裂解半导体部件表面有机沉积物的方法，属于半导体表面沉积物清洗领域，其包括如下步骤：S1：将预处理后的待清洗部件置于反应容器中，常温下晾干；S2：向步骤S1中所述的反应容器内加入浓硫酸；S3：向步骤S2中所述的反应容器内加入双氧水，双氧水与所述步骤S2中添加的浓硫酸体积比为3:1～1:3；双氧水的添加时间小于等于1秒；S4：自然冷却至室温后利用去离子水冲洗；通过上述技术方案，解决现有技术中半导体部件的表面沉积物清洗需求无法被满足的问题。
一种高温氧化裂解半导体部件表面有机沉积物方法

[实用新型]一种改进型高洁净度干燥柜-CN202120578553.0有效
发明人：陈宁 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种改进型高洁净度干燥柜，涉及干燥柜领域，包括外壳，设置于外壳上方的不锈钢风机，设置于不锈钢风机下方的高效过滤装置；外壳内部设置有红外灯加热装置，外壳包括不锈钢支架，设置于不锈钢支架内侧的铝箔或者镜面不锈钢板，设置于镜面板内侧的PE膜。本实用新型将现有PE板组成的外壳更换成PE膜，在PE膜外贴铝箔或者镜面不锈钢板，能够显著增强红外灯加热装置的红外光反射，从而提升干燥柜内部的温度，加速干燥速度；并且在铝箔或者镜面不锈钢板外侧设置有不锈钢支架，能够增强柜体的结构强度；并且由于PE膜连同外贴铝箔或者镜面不锈钢板固定在不锈钢支架的内部，能够避免不锈钢材质可能带来的金属污染。
一种改进型洁净干燥

[实用新型]一种半导体部件孔洞冲压清洗装置-CN202020131456.2有效
发明人：陈宁;薛成 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体部件孔洞冲压清洗装置，属于清洗设备技术领域。本实用新型包括水流分配器、输水管以及装夹机构，水流分配器呈圆盘状，水流分配器内部中空，水流分配器上端面均匀开设有复数个出水孔，水流分配器上端面还设置有O型密封圈，输水管一端与水流分配器底部相连接，所述的装夹机构设置有两个，两个装夹机构对称设置在水流分配器上端面两端，本实用新型对孔洞内颗粒的清洗效率可达90‑100％，对孔壁附着的有机膜的清洗效率也从原先的0‑10％大幅提升至30‑50％，并且由于不采用化学清洗方法，可有效保护部件，延长部件使用寿命，几乎达到部件的寿命极限值。
一种半导体部件孔洞冲压清洗装置

[实用新型]一种半导体生产用的串联新风系统-CN202020033357.0有效
发明人：陈宁;苏宇 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： F24F7/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体生产用的串联新风系统，包括设置在无尘室的正压系统和设置在车间的负压系统，正压系统与负压系统串联连通；正压系统包括送风组件、回风组件和空调组件，送风组件包括送风管道、多个送风口，送风管道一端分别与多个送风口相连通，送风管道另一端与空调组件相连通，回风组件包括位于无尘室内的多个回风口和回风管道，回风管道一端与空调组件相连通，回风管道另一端与多个回风口相连通；负压系统包括多个位于车间内的抽风组件、抽风管道和废气处理组件，抽风管道一端与废气处理组件相连通，抽风管道另一端与多个抽风组件相连通。其提升了无尘室和车间的运行效率，且两个设备运行过程更加稳定。
一种半导体生产串联新风系统

[发明专利]一种半导体陶瓷部件表面有机沉积物的去除方法-CN202010017834.9在审
发明人：陈宁;阮计划 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体陶瓷部件表面有机沉积物的去除方法，包括以下步骤：S1、将待清洗的半导体陶瓷部件浸泡于酸洗溶液内进行清洗，然后晾干待用；S2、将经过酸洗后的半导体陶瓷部件放置于高温炉内进行高温焙烧处理，经过升温、保温、降温后，自然冷却至室温；S3、再将经过高温焙烧处理的半导体陶瓷部件使用酸洗溶液再次进行浸泡清洗，再经过水洗、干燥，即可。采用本发明中的去除方法，可保证半导体陶瓷部件的清洗效果，且能够完好的保存部件表面的原始特征，提高陶瓷部件的再生率，延长其重复使用寿命。
一种半导体陶瓷部件表面有机沉积物去除方法

[发明专利]一种用于电子产品包装盘的清洗装置及其清洗方法-CN201310083566.0有效
发明人：陈宁;顾惠军;朱惠鸣 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2013-03-17 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于电子产品包装盘的清洗装置及其清洗方法，包括高压氮喷射机构，其特征在于所述高压氮喷射机构一侧设有等离子除静电器。装置利用高纯氮气等各种气体对产品表面进行清洁，在清洁的同时，使用离子发生装置产生的负离子，通过离子风棒去除包装盘表面的静电，从而实现去除表面静电的目的，实现高净度清洗，产品整个设计结构合理，构思巧妙，具有很好的实用效果，相比现有技术而言，具有突出的实质性特点和显著进步。
一种用于电子产品包装清洗装置及其方法

[实用新型]一种用于电子产品包装盘的清洗装置-CN201320119441.4有效
发明人：陈宁;顾惠军;朱惠鸣 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2013-03-17 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于电子产品包装盘的清洗装置及其清洗方法，包括高压氮喷射机构，其特征在于：所述高压氮喷射机构一侧设有等离子除静电器。装置利用高纯氮气等各种气体对产品表面进行清洁，在清洁的同时，使用离子发生装置产生的负离子，通过离子风棒去除包装盘表面的静电，从而实现去除表面静电的目的，实现高净度清洗，产品整个设计结构合理，构思巧妙，具有很好的实用效果，相比现有技术而言，具有突出的实质性特点和显著进步。
一种用于电子产品包装清洗装置

[实用新型]适用于清洗上电极的工具-CN200920210631.0无效
发明人：陈宁;刘贤 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2009-10-13 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于清洗上电极的工具，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。本实用新型适用于清洗上电极的工具保证了上电极的清洗效果，在最大限度内避免了密封面漏率升高的前提下，以比较温和的方式对上电极进行清洗处理。
适用于清洗电极工具

[实用新型]适用于高洁净环境使用的干燥箱-CN200820154426.2无效
发明人：陈宁;刘贤 -专利权人： 上海宏科半导体技术有限公司
申请日： 2008-10-24 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于高洁净环境使用的干燥箱，包括：一个由PE材质组成的外壳；在所述的外壳的上方连接一个不锈钢风机；在不锈钢风机的下方、外壳的顶部安置一个高效过滤装置；在外壳的内顶部安置至少一个以上的红外灯加热装置；所述的红外灯加热装置连接一个由PE材料组成的支撑架子；所述的支撑架子连接一个升降控制机构；在外壳的内底部安置一个由四氟材料组成的垫子；外壳的前侧是一个移动门窗；本实用新型的有益效果是：保证了部件表面的洁净度，在最大限度内避免了金属污染的前提下，以比较温和的方式对部件进行干燥处理。
适用于洁净环境使用干燥箱

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