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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]翻转装置-CN202310643333.5在审
发明人：丁广福;钱宇力;钱澄;闻岳 -专利权人： 上海共进微电子技术有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明属于芯片生产技术领域，公开了翻转装置。该装置包括驱动件、翻转臂、模座和倒模，翻转臂的一端与驱动件的输出端驱动连接，驱动件能驱动翻转臂转动，模座能承载芯片，倒模与翻转臂的另一端连接，倒模上开设有第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽并列设置，第一定位槽用于对芯片预定位，第二定位槽用于对芯片二次定位，第一定位槽的底部设有真空孔，真空孔通过抽真空作用将芯片吸附于第一定位槽；模座能顶升芯片，并使芯片嵌入第一定位槽和第二定位槽。通过本发明，能使芯片准确定位和稳定固定，避免在芯片翻转过程中出现抛料和移位。
翻转装置

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共 1 条

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