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[实用新型]一种非接触式晶圆清洗装置-CN202321169980.9有效
发明人：王孝军;范亚飞;陈志平;牛作艳;袁泉 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种非接触式晶圆清洗装置，包括一清洗台面，清洗台面中间设有伯努利吸盘，清洗台面的边沿处设有若干夹持机构，夹持机构上设有夹持位，夹持位高于伯努利吸盘；所述清洗台面外侧设有可升降的挡水罩，清洗台面上方设有视觉检测组件。本实用新型的清洗台面上设置伯努利吸盘，对晶圆进行非接触式吸附，方便晶圆进行清洗作业；在清洗台面周围设置一圈夹持组件，可对晶圆边沿进行限位，防止晶圆相对伯努利吸盘发生旋转，避免晶圆偏位造成损坏。
一种接触式晶圆清洗装置

[实用新型]一种非接触式晶圆传递装置-CN202321167960.8有效
发明人：王孝军;叶家焱;杨晓岗;陈冬云 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种非接触式晶圆传递装置，包括移动底座，移动底座上设有升降杆，升降杆底端安装有伯努利吸盘和若干真空吸盘；还包括控制单元，升降杆上安装有视觉检测装置和高度检测装置，控制单元根据视觉检测装置、高度检测装置的检测信息，控制移动底座在水平或竖直方向上移动。本实用新型同时设置了伯努利吸盘和真空吸盘，伯努利吸盘利用伯努利原理，在吸附隔离纸时，将隔离纸与下方晶圆分离开，真空吸盘用于增加吸附的稳固性，完成隔离纸、晶圆的移动工作。
一种接触式晶圆传递装置

[发明专利]一种Taiko晶圆全自动贴膜方法及装置-CN202310672210.4在审
发明人：王孝军;范亚飞;袁泉;杨晓岗;牛作艳;韩义 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种Taiko晶圆全自动贴膜方法及装置，首先利用环切台面的内圈以全覆盖形式吸附晶圆减薄部分，外圈用于吸附台阶环，激光切除台阶环；真空吸盘以全覆盖形式吸附晶圆后，环切台面的内圈停止吸附；真空吸盘将晶圆转移至至真空腔体内；真空腔体内的晶圆承载台面以全覆盖形式吸附晶圆后，真空吸盘停止吸附，晶圆在真空腔体内完成贴膜。本发明晶圆从环切到贴膜过程中均处于被吸附状态，利用环切台面、真空吸盘、晶圆承载台面吸附住晶圆，避免晶圆出现翘曲，保证贴膜效率和贴膜质量；集激光环切、真空贴膜于一体，降低了设备成本，节约了管理成本，经济适用。
一种 taiko 圆全自动方法装置

[实用新型]一种毛刷自清洗装置-CN202022577197.9有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种毛刷自清洗装置。该自清洗装置包括升降组件、旋转组件、摆臂机构、毛刷自转组件和储液机构。升降组件为旋转组件提供升降的动力。旋转组件为摆臂机构提供旋转的动力。摆臂机构的一端连接第二连接轴的上端，其另一端连接毛刷。毛刷自旋转机构为毛刷自清洗时提供旋转的动力。储液机构用于储存清洗液。在晶圆清洗的过程中，通过升降组件上升旋转组件，通过摆臂机构抬升毛刷，通过旋转组件的旋转使毛刷正对储液机构，最后再通过升降组件将毛刷下降至清洗液中，最后毛刷自旋转机构使毛刷旋转来完成毛刷的自清洗。在晶圆清洗的过程中适时的对毛刷进行清洗，能够有效确保晶圆的良好品质，提高企业的工作效率，节约人力和时间。
一种毛刷清洗装置

[实用新型]一种贴膜设备-CN202022633725.8有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本申请公开一种贴膜设备，用于将一组合膜上掀离一保护膜的粘覆膜粘覆于一工件，其中所述保护膜被从所述粘性膜上掀离，其中所述组合膜上掀离所述保护膜的所述粘覆膜形成一预备粘性膜部，其特征在于，其中所述贴膜设备包括一设备本体、一膜收放组件和一抵压组件，其中所述膜收放组件被设置于所述设备本体，其中所述抵压组件包括一抵压件和一动力件，其中所述抵压件被可驱动地连接于所述动力件，并被设置在所述预备粘性膜部的所述粘性膜延伸的路径上，以在所述预备粘性膜部的所述粘性膜的端部边缘被粘结于所述工件的外侧边缘时，被所述动力件驱动而将位于所述预备粘性膜部的所述粘性膜抵向所述工件。
一种设备

[实用新型]一种毛刷高度检测装置-CN202022579811.5有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种毛刷高度检测装置，属于检测设备技术领域。所述高度检测装置包括升降组件、旋转组件、摆臂机构和测力台。升降组件为旋转组件提供升降的动力。旋转组件为摆臂机构提供旋转的动力。摆臂机构的一端连接第二连接轴的上端，其另一端连接毛刷。在晶圆清洗的过程中，通过升降组件上升旋转组件，通过摆臂机构抬升毛刷，通过旋转组件的旋转使毛刷正对测力台，最后再通过升降组件将毛刷下降至测力台的台面，进行压力检测，将压力数据结合升降组件的升降距离以及台面的预定高度转化为毛刷的高度，从而控制毛刷的质量，能够有效确保晶圆的良好品质，并提高工作效率，降低企业成本。
一种毛刷高度检测装置

[实用新型]一种清洗设备-CN202021721170.6有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本申请公开一种清洗设备，其中所述清洗设备包括一盛液件、一发泡装置以及一沸液发生器，其中所述盛液件形成一清洗腔，用于盛装待清洗的器件，其中所述发泡装置被设置于所述盛液件的所述清洗腔，以使所述清洗腔中的所述清洗液气泡化，其中所述沸液发生器以能够沸化位于所述清洗腔中的所述清洗液的方式被连通于所述清洗腔，以使气泡化的所述清洗液在沸腾时无序地在待清洗的所述器件的四周爆裂。
一种清洗设备

[实用新型]晶圆清洗装置-CN202021721173.X有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本申请公开一种晶圆清洗装置，其中所述晶圆清洗装置包括一挡液件和一清洗组件，其中所述挡液件具有一顶壁和自所述顶壁沿竖直方向延伸的一挡液壁，其中所述顶壁和所述挡液臂之间形成一清洗空间，其中所述挡液壁的底部形成与所述清洗空间连通的一开口，供一待清洗的晶圆组件的晶圆进入所述清洗空间之后，待清洗的晶圆组件的固定膜被所述挡液件的底部罩压，其中所述清洗组件在所述清洗空间中形成一出液口，以将清洗液导入位于所述清洗空间的待清洗的晶圆。
清洗装置

[实用新型]一种多功能晶圆清洗盘-CN202021194507.2有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多功能晶圆清洗盘，属于电子元件清洗设备技术领域，包括合金或塑料基座、多孔陶瓷片和离心锁扣，基座的顶面设有圆形凹槽和环形凹槽，分别放置多孔陶瓷片和子母环，同时，离心锁扣的均匀安装在基座的外圈，通过离心锁扣的支撑件组成支撑环来支撑铁环，并通过离心锁扣的固定件固定铁环，使该清洗盘同时适用于铁环治具、子母环治具以及扩晶后的子母环和铁环治具，实现一盘多用，通过多种治具的兼容实现了不同工序的最小改动，降低了其他制程改动的成本，减少了改机的时间，提高了工作效率，大大降低了企业的加工成本。
一种多功能清洗

[实用新型]一种半导体封装基板切膜装置-CN202021194516.1有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： B26D1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体封装基板切膜装置，属于半导体封装辅助设备技术领域，包括切膜基板，切膜基板的底面安装有封闭式仿形导轨槽和旋转主轴，仿形导轨槽通过第一轴承组和第一连接杆转动连接有与切膜基板垂直的切膜刀片，旋转主轴固定连接有连接板，并通过连接板上的第一滑轨滑动连接第一连接杆上的第一安装块，在旋转主轴转动时，连接板在第一滑轨和第一安装块的配合作用下，带动第一连接杆和第一轴承组在仿形导轨槽内转动，使切膜刀片沿仿形导轨槽的形状切割出对应形状的UV膜，切割效率高，该切膜装置适用于各种形状的UV膜的切割，并可节约大量的人力成本，有效降低企业负担。
一种半导体封装基板切膜装置

[发明专利]一种清洗设备-CN202010825501.9在审
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本申请公开一种清洗设备，其中所述清洗方法包括以下步骤(S1)在密封且盛装有清洗液的清洗腔中形成气泡和(S2)沸化位于所述清洗腔中的所述清洗液，以在位于所述清洗腔中的所述器件与粘附于所述器件上的污渍之间形成由所述气泡爆裂而产生的冲击力，以清除位于所述器件上的污渍。
一种清洗设备

[实用新型]一种晶圆双面清洗装置-CN201921082272.5有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆双面清洗装置，属于一种晶圆清洗设备，包括有控制装置、机械手装置、固定晶圆的固定装置、传动装置以及清洗装置和干燥装置，通过机械手装置拿取晶圆，U型轮有效固定晶圆，使晶圆处于悬浮状态，有效避免了人为的二次污染；通过在晶圆的上、下表面分别设置二流体喷头和干燥气喷头实现晶圆上、下表面的同时清洁和同时干燥，节约时间，提高效率；通过传动装置中的第二旋转轴带动第二齿轮，进而带动第一齿轮和小齿轮，使U型轮带动晶圆在清洗和干燥的过程中高速旋转，进一步提高了清洁的效率和清洁的品质。
一种双面清洗装置

[实用新型]一种用于芯片的全自动清洗装置-CN201920524660.8有效
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于芯片的全自动清洗装置，属于芯片清洗设备技术领域，包括铝合金支架、控制箱、电源装置，所述支架上设有清洗腔，所述清洗腔内设有工作台、旋转装置、锁扣装置、第一摆臂装置和第二摆臂装置，在物料到达工作台被锁紧后，通过第一摆臂装置的药液喷淋浸泡以及自动刷洗，第二摆臂装置的自动清洗以及干燥，同时，针对不同程度的沾污可以设置不同的清洗液以及清洗的时间，能够进一步提升清洗效果，并且全程采用全自动操作，同时设置多个清洗腔进行工作，有效提高了工作效率，降低了用工成本。
摆臂装置清洗腔全自动清洗装置工作台芯片设备技术领域本实用新型铝合金支架全自动操作电源装置工作效率清洗效果锁扣装置芯片清洗旋转装置自动清洗自动刷洗控制箱清洗液喷淋锁紧沾污支架浸泡清洗全程

[发明专利]一种用于芯片的全自动清洗装置及其清洗工艺-CN201910310896.6在审
发明人：王孝军;范亚飞 -专利权人： 上海允哲机电科技有限公司
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于芯片的全自动清洗装置及其清洗工艺，属于芯片清洗设备技术领域，包括铝合金支架、控制箱、电源装置，所述支架上设有清洗腔，所述清洗腔内设有工作台、旋转装置、锁扣装置、第一摆臂装置和第二摆臂装置，在物料到达工作台被锁紧后，通过第一摆臂装置的药液喷淋浸泡以及自动刷洗，第二摆臂装置的自动清洗以及干燥，同时，针对不同程度的沾污可以设置不同的清洗液以及清洗的时间，能够进一步提升清洗效果，并且全程采用全自动操作，同时设置多个清洗腔进行工作，有效提高了工作效率，降低了用工成本。
摆臂装置清洗腔全自动清洗装置清洗工艺工作台芯片设备技术领域铝合金支架全自动操作电源装置工作效率清洗效果锁扣装置芯片清洗旋转装置自动清洗自动刷洗控制箱清洗液喷淋锁紧沾污支架浸泡清洗全程

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