专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种硅晶片的厚度测量装置-CN202321191025.5有效
  • 黄杰;贾泓超;范正斌 - 浙江艾科半导体设备有限公司
  • 2023-05-17 - 2023-10-27 - H01L21/66
  • 本实用新型公开了一种硅晶片的厚度测量装置,属于硅晶片加工技术领域,包括测量台、设置于测量台上的置物座和位于测量台上的测量机构,所述置物座上形成有硅晶片置物槽,所述测量台顶壁上固定焊接有呈倒U形的承接架,所述承接架的底壁焊接有内安装盘和外安装盘,测量机构包括安装于内安装盘底壁的多个第一距离传感器、安装于外安装盘底壁的多个第二距离传感器、安装于承接架侧壁的显示屏和控制器,多个所述第一距离传感器在内安装盘上圆周阵列分布,多个所述第二距离传感器在外安装盘上圆周阵列分布。该硅晶片的厚度测量装置,在确保硅晶片保持水平的状态下得出其厚度值,使得测量的厚度值更准确。
  • 一种晶片厚度测量装置
  • [实用新型]一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置-CN202321638848.8有效
  • 黄超 - 上海珈旺新能源科技有限公司
  • 2023-06-27 - 2023-10-27 - H01L21/66
  • 本实用新型涉及电池片加工技术领域,尤其涉及一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置。本实用新型提供一种便于对石墨舟的不同位置进行测温,提高测量的精准度的电池片镀膜石墨舟温度检测装置。一种电池片镀膜石墨舟温度检测装置,包括有支撑传送带、测温仪、测温笔、石墨舟和移动机构,支撑传送带右部前侧连接有测温仪,测温仪左右两侧均卡接有至少两个测温笔,支撑传送带上侧放置有石墨舟,支撑传送带上设有移动机构。本实用新型通过第一转柄转动带动第一丝杆进行转动,第一丝杆转动带动第一移动架进行移动,第一移动架移动带动测温笔进行移动,能够达到便于对石墨舟的不同位置进行测温,提高测量的精准度的效果。
  • 一种电池镀膜石墨温度检测装置
  • [发明专利]一种晶圆花篮上料移动平衡检测机构及检测方法-CN202311108192.3在审
  • 华斌;杨仕品;顾雪平 - 苏州智程半导体科技股份有限公司
  • 2023-08-31 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本发明属于晶圆花篮上料移动中平衡的技术领域,尤其是一种晶圆花篮上料移动平衡检测机构及检测方法,包括安装在清洗机内部顶端的安装顶板和用于装夹晶圆花篮的机械手,所述安装顶板的底部设置左右输送机构,所述左右输送机构实现所述机械手进行左右往复移动的动作。该晶圆花篮上料移动平衡检测机构及检测方法,晶圆花篮在移动的同时利用平衡检测机构进行实时检测晶圆花篮的平衡状态,当平衡倾斜中,利用平衡调节机构进行控制花篮保持平衡状态,进而保证了晶圆花篮在移动中呈水平状态移动进入到清洗腔的内部,从而增强了晶圆的清洗质量,避免了清洗中因倾斜导致晶圆清洗损坏,提高清洗的效率。
  • 一种花篮移动平衡检测机构方法
  • [发明专利]芯片封装组件检测方法及装置-CN202210358651.2在审
  • 马尚 - 上海江波龙数字技术有限公司
  • 2022-04-06 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本申请提供一种芯片封装组件检测方法,包括:在待检测的芯片封装组件上确定具有预设排布方式的孔位;根据待检测的芯片封装组件的类型,在所述芯片封装组件上形成贯通全部或部分所述孔位的通孔;将预定数量的芯片封装组件叠合在一起形成类型测试组,并将所述类型测试组中的所有芯片封装组件的所述孔位相互对准;使用芯片封装组件检测装置用光信号测试方式确定整个类型测试组在整体上的通孔排列方式;根据整个类型测试组在整体上的通孔排列方式确定所述类型测试组中的芯片封装组件是否通过测试。本申请还提供一种用于实现上述方法的装置。
  • 芯片封装组件检测方法装置
  • [发明专利]缺陷诊断方法、电子设备、存储介质及程序产品-CN202310651057.7在审
  • 韩娜;李梦亚 - 江苏第三代半导体研究院有限公司
  • 2023-06-02 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本申请提供了缺陷诊断方法、电子设备、存储介质及程序产品,用于对外延片的缺陷进行诊断,所述方法包括:在所述外延片的制备过程中,分别在每个制备工序完成后对所述外延片进行第一检测,得到每个制备工序的第一检测数据;当制备完成的所述外延片不满足预设的合格条件时,根据每个制备工序的第一检测数据,得到每个制备工序的第一诊断结果,所述第一诊断结果用于指示是否存在第一缺陷;当至少一个制备工序的第一诊断结果指示存在第一缺陷时,向终端设备发送第一缺陷信息,所述第一缺陷信息至少包括存在第一缺陷的制备工序的标识。本申请可以迅速定位存在缺陷的制备工序,为后续的缺陷修复和工艺改进提供有价值的参考。
  • 缺陷诊断方法电子设备存储介质程序产品
  • [发明专利]晶圆的洗边结果检测方法、装置、设备以及存储介质-CN202311200353.1在审
  • 贾晓峰;卢金德;鄢江兵;陈献龙 - 粤芯半导体技术股份有限公司
  • 2023-09-18 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本申请实施例提供了一种晶圆的洗边结果检测方法、装置、设备以及存储介质,该方法包括:获取设置的量测参数信息;然后,根据总量信息、位置信息以及量测比例,从待量测结构中确定目标量测结构;接着,基于量测控制参数,测量得到每个目标量测结构对应的第一量测区域与第二量测区域之间的高度差以及电势差,并计算得到对应的高度差平均值以及电势差平均值;最后,根据高度差平均值、电势差平均值以及预设均值范围,确定晶圆的洗边完成度结果。本方案通过对于待量测结构的高度差以及电势差进行抽样测量和均值计算,有效结合设置的阈值条件进行洗边结果的完成度判断,为后续制程提供准确且可靠的结果参考,有利于产品品质管控以及金属污染管控。
  • 结果检测方法装置设备以及存储介质
  • [发明专利]装载端口设备及其映射装置-CN202210354214.3在审
  • 刘宪正 - 上银科技股份有限公司
  • 2022-04-06 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 一种装载端口设备及其映射装置,所述装载端口设备的映射装置适用于对放置在容器内的多个待测物进行检测且包含第一感测组及第二感测组。所述第一感测组能沿检测方向相对于所述容器移动,所述第一感测组用来检测所述等待测物且具有第一光轴。所述第二感测组能沿所述检测方向相对于所述容器移动并用来检测所述等待测物且具有相对于所述第一光轴倾斜的第二光轴,所述第二光轴较所述第一光轴更远离所述容器且在所述检测方向上位于所述第一光轴的前侧。通过所述第二光轴相对于所述第一光轴倾斜的斜角设计,达成在三维立体空间的斜角检测功能。
  • 装载端口设备及其映射装置
  • [发明专利]一种晶圆级玻璃通孔TGV检测及工艺参数优化方法-CN202310694345.0在审
  • 方艳阳;潘红日;周建红 - 深圳市圭华智能科技有限公司
  • 2023-06-13 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本发明提供了一种晶圆级玻璃通孔TGV检测及工艺参数优化方法,该方法包括激光诱导孔的检测步骤,蚀刻后TGV通孔的检测步骤,以及工艺参数的优化步骤。本发明的有益效果是:本发明克服了传统显微检测不能通过玻璃顶面检测通孔全貌的弊病,充分借助正在使用的生产设备和检测设备,通过使用便捷的方式制作并检测微孔纵剖面的方法获得了较为完善的检测数据,通过对检测数据的统计学处理,结合实际生产需要对处理过的数据进行优选,即可得出最佳工艺参数。将已确定的最佳工艺参数逐一代入下一轮优化过程,可进一步获得剩余工艺参数的优化,此过程不断循环,最终可获得全部工艺参数的优化,也可以只选择最关注的工艺参数进行优化。
  • 一种晶圆级玻璃tgv检测工艺参数优化方法
  • [发明专利]一种电池片缺陷检测及颜色分选机构-CN202310929405.2在审
  • 杨中明;杨美娟;肖凯 - 江苏森标科技有限公司
  • 2023-07-27 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本发明涉及电池片检测技术领域,具体是一种电池片缺陷检测及颜色分选机构,包括基板,所述基板的顶部一侧设有底盘,所述底盘的顶部转动安装有旋转轴,所述旋转轴的顶部设有旋转盘,所述旋转盘的顶部绕其圆心依次设置有四个治具组件,所述基板的顶部绕旋转盘的圆心依次设有上下料组件、第一检测机构、翻转组件和第二检测机构,所述第一检测机构和第二检测机构的结构相同,所述底盘的顶部设有转动电机,所述转动电机的输出轴上设有主动齿轮,所述旋转轴上设有从动齿轮,所述从动齿轮与主动齿轮啮合,本发明第一检测机构和第二检测机构自动对其中的视觉检测摄像头进行自动降温操作,避免视觉检测摄像头高温烧毁,整个检测工作的正常。
  • 一种电池缺陷检测颜色分选机构
  • [发明专利]一种识别和处理薄膜太阳电池缺陷的装置和方法-CN202311147598.2在审
  • 请求不公布姓名 - 信基科技(北京)有限公司
  • 2023-09-06 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本发明涉及薄膜太阳电池技术领域,提供一种识别和处理薄膜太阳电池缺陷的装置和方法,其中装置包括平台、可见光相机、激光器及计算机,可见光相机与计算机通信连接,计算机与激光器通信连接;其中,平台用于承载薄膜太阳电池;可见光相机用于采集薄膜太阳电池的电池图像,并将电池图像传输至计算机;计算机用于对电池图像进行缺陷识别,得到缺陷识别结果,并基于缺陷识别结果中包含缺陷的缺陷位置生成控制指令,将控制指令传输至激光器;激光器用于基于控制指令在薄膜太阳电池的缺陷位置处进行划线隔离。此过程采用可见光显微成像的方式可实现对薄膜太阳电池中的缺陷的有效识别,省略现有的针孔填补工序,而不会增加新工序,节约了大量的成本。
  • 一种识别处理薄膜太阳电池缺陷装置方法
  • [发明专利]一种芯片裂纹检测方法、系统、存储介质及智能终端-CN202311196832.0在审
  • 彭祎;罗立辉;方梁洪;任超 - 宁波芯健半导体有限公司
  • 2023-09-18 - 2023-10-24 - H01L21/66
  • 本申请涉及一种芯片裂纹检测方法、系统、存储介质及智能终端,涉及晶圆芯片检测技术的领域,其包括于未通过DBG工艺前在晶圆表面溅射阻隔层和种子层,所述晶圆上设有衬底和钝化层;于晶圆上设置标记;于DBG工艺中在将晶圆背面贴划片膜前且晶圆背面朝上时进行扫描,形成背面裂纹扫描图谱;将背面裂纹扫描图谱镜像,以形成镜像背面裂纹扫描图谱;于DBG工艺完成后在晶圆正面进行扫描,形成正面裂纹扫描图谱;基于标记整合镜像背面裂纹扫描图谱和正面裂纹扫描图谱,形成综合裂纹扫描图谱;基于综合裂纹扫描图谱确定裂纹结果并进行输出,本申请具有将两个扫描的图谱综合自动分析,避免造成更大的损失,提高了裂纹检测的精度的效果。
  • 一种芯片裂纹检测方法系统存储介质智能终端

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