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- [发明专利]测试方法-CN202111095277.3在审
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宋王琴
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长鑫存储技术有限公司
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2021-09-17
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2021-12-10
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G01R27/14
- 本申请实施例涉及半导体领域,提供一种测试方法,至少可以包括:提供层叠导电基底和待测接触孔,待测接触孔包括依次排列的第一接触孔、第二接触孔、第三接触孔和第四接触孔;提供流经第一接触孔和第四接触孔的第一激励电流,且检测第二接触孔顶端与第三接触孔顶端之间的第一电压差值,以及根据第一电压差值和第一激励电流得到第一电阻值;提供流经第二接触孔和第三接触孔的第二激励电流,且检测第二接触孔顶端与第三接触孔顶端之间的第二电压差值,以及根据第二电压差值和第二激励电流得到第二电阻值;根据第一电阻值和第二电阻值获取待测接触孔与导电基底的接触电阻。本申请实施例有利于准确测量待测接触孔与导电基底的接触电阻。
- 测试方法
- [发明专利]电阻测试电路及电阻测试方法-CN202010434821.1在审
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周健
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圣邦微电子(北京)股份有限公司
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2020-05-21
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2021-11-26
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G01R27/14
- 本发明涉及电阻测量技术领域,提供了一种电阻测试电路及电阻测试方法,该电阻测试电路包括:分压模块,包括串联于供电端与地之间的电流源、标准电阻和待测电阻;第一测试模块,根据标准电阻两端的电压生成第一测试电压;第二测试模块,根据待测电阻两端的电压生成第二测试电压;第三测试模块,其输入端分别连接第一测试模块的输出端和第二测试模块的输出端,根据该第一测试电压和该第二测试电压生成第三测试电压,其中,所述电阻测试电路根据该标准电阻的阻值、该第一测试电压和该第三测试电压获得被测电阻的阻值。由此可以提高电阻测试电路的测试精度以及满足可靠性要求。
- 电阻测试电路方法
- [发明专利]电阻测试电路及电阻测试方法-CN202010435210.9在审
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周健
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圣邦微电子(北京)股份有限公司
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2020-05-21
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2021-11-26
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G01R27/14
- 本发明涉及电阻测量技术领域,提供了一种电阻测试电路及电阻测试方法,用于测量两个被测电阻的电阻差值,该电阻测试电路包括:分压模块,包括串联于供电端与地之间的电流源、标准电阻、第一待测电阻和第二待测电阻;第一测试模块,根据该标准电阻两端的电压生成第一测试电压;第二测试模块,根据该第一待测电阻两端的电压和该第二待测电阻两端的电压生成第二测试电压,其中,该第二测试电压表征该第一待测电阻和第二待测电阻的电阻差值,该电阻测试电路根据该标准电阻的阻值、该第一测试电压和该第二测试电压获得第一待测电阻和第二待测电阻的电阻差值。由此提高了可实现两个被测电阻差值测量的电路的测量精度及该电路的可靠性。
- 电阻测试电路方法
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