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[发明专利]一种六氟化钨纯化装置-CN202311003887.5在审
发明人：赵志鸿;吴旭飞;牛鹏飞;王娟;陈兴龙 -专利权人：昊华气体有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种六氟化钨纯化装置，包括筒体、热媒夹套、冷媒盘管、波纹管密封模块；筒体包括上封头、下封头以及中间的直筒段；热媒夹套设置在筒体外下半段，冷媒盘管设置在筒体内下半段，波纹管密封模块设置在筒体内上半段；波纹管密封模块包括波纹管、连接杆和转动件；上封头顶部中心设有支座，支座中心设有螺纹孔；筒体的侧壁上设有物料进口以及若干个气相出口，各气相出口垂直并联分布，每个气相出口后均连接有隔膜阀，隔膜阀后管路汇合为气相出料总管，气相出料总管分别连接气相出料支管和放空支管；筒体侧壁和上封头上均连接有压力传感器，上封头设有排气口。该装置可避免减压精馏的处理能力下降的缺陷，同时又无吸附剂粉化风险。
一种氟化纯化装置

[发明专利]六氟化钨的制备装置、系统及其方法-CN202310697233.0在审
发明人：林百志;张朝春;李世荣;赖甜华;胡进军;邱玲;蓝伟雄 -专利权人：福建德尔科技股份有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种六氟化钨的制备装置、系统及其方法，包括反应筒组件，所述反应筒组件的上部设置有进粉组件，所述反应筒组件的下部设置有布气组件，所述反应筒组件的下部和进粉组件之间设置有用于进行粉末循环的粉料循环组件，所述进粉组件包括与反应筒组件顶部固定连接的储料斗，所述储料斗下部设置有分散组件，所述储料斗顶部设置有密封盖，所述密封盖上设置有用于驱动分散组件旋转的动力组件；本发明可以配合设置的动力组件，将钨粉均匀的分散开，并配合设置的升降杆和挡盘，结合凸轮槽以及套筒上的凸销，可以间歇的对分散组件下部进行遮挡，实现间歇性的供料，有助于钨粉更加充分的反应。
氟化制备装置系统及其方法

[发明专利]一种电子级六氟化钨纯化装置-CN202310963982.3在审
发明人：王新喜;王杰;温娜;温海涛;曲昆;孙布尔;张志鹏;薛志明 -专利权人：南大光电（乌兰察布）有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级六氟化钨纯化装置，包括：加热管，用于将六氟化钨混合气加热至150℃‑400℃；缓冲罐，其一端与所述加热管相连通，另一端设置有连通管；还原塔，其底部与所述连通管相连通，顶部设置有排气管；以及填料管，且设置于所述还原塔中，且为透气结构并使得六氟化钨混合气仅能够穿过填料管从排气管排出，所述填料管中填充有钨粒，所述填料管能够根据六氟化钨混合气的进气量自动排出已使用的钨粒并填充补充新的钨粒。
一种电子氟化纯化装置

[发明专利]六氟化钨的制造方法、其纯化方法和六氟化钨-CN202080021867.9有效
发明人：大桥满也;滨名孝德;绪方贵则;中村隆一 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序，使包含砷或砷化合物的钨与含氟元素的化合物气体反应，得到包含六氟化钨和三价砷化合物的混合物；和，蒸馏工序，将该混合物蒸馏纯化，将包含三价砷化合物的馏分分离去除，得到六氟化钨。
氟化制造方法纯化

[发明专利]去除六氟化钨中金属杂质的工艺-CN202310505399.8在审
发明人：王杰;王新喜;温娜;崔同超;曲昆;刘丙德;王大兵 -专利权人：乌兰察布南大微电子材料有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种去除六氟化钨中金属杂质的工艺，属于六氟化钨生产技术领域。其技术方案为：通过化学还原法，用金属钨将六氟化钨中的六氟化钼、六氟化铬还原成固相的金属钼和铬析出，附着在金属钨粉上，与六氟化钨气体分离。本发明解决了六氟化钨中Mo和Cr金属杂质难去除且去除过程复杂的问题以及六氟化钼的熔点和六氟化钨的沸点相近且在熔点附近有较高的蒸气压使六氟化钼较难分离的问题，去除金属杂质的效果好。
去除氟化金属杂质工艺

[发明专利]一种六氟化钨气体的制备方法-CN202310157694.9在审
发明人：李纪明;林百志;张朝春;赖甜华;胡进军 -专利权人：福建德尔科技股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明属于电子化工领域，尤其涉及一种三氟化氮的制备方法。所述方法包括：将含三氟化氮气体的反应气通入装有钨原料的反应器内进行反应，反应后所制得的粗品气依次通过多级冷凝器回收产物，尾气通过冷阱处理回收。本发明技术方案通过对现有六氟化钨的三氟化氮法进行改进，使得整体工艺具备高效性、连续性，无需反复停机回收再重启制备，大大降低了时间成本和能耗成本，也精简了设备、节约了设备和场地成本，提高了制备效率并能够稳定、连续地获得高纯度六氟化钨产品。
一种氟化气体制备方法

[发明专利]一种用于六氟化钨气体的冷冻捕集器及其使用方法-CN201810736758.X有效
发明人：刘传江;李芝保;王乐深 -专利权人：山东重山光电材料股份有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于六氟化钨气体的冷冻捕集器及其使用方法，冷冻捕集器为箱体结构，冷冻捕集器的箱体依次设为工艺气体冷却区、固体颗粒沉降区、U型翅片盘管捕集区和微孔过滤区。本发明中工艺气进入U型翅片盘管捕集区后温度进一步降低，气态、液态的六氟化钨进一步固化，并且翅片小孔结构能把绝大多数未被捕集的固体颗粒捕集，微孔过滤区把未被捕集的固体颗粒拦截；本发明大大提高了捕集收率，捕集收率在99%以上，且本发明可有效防止堵塞。
一种用于氟化气体冷冻捕集器及其使用方法

[发明专利]六氟化钨的制造方法、其纯化方法和六氟化钨-CN202080021805.8有效
发明人：末永隆;北拓也;中村隆一 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序，使钨与含氟元素的化合物气体反应，得到含有六氟化钨和包含氟化氢的杂质的混合物；和，排出工序，将混合物蒸馏，在该蒸馏时，执行交替地进行积存操作和吹扫操作的排出操作至少2次以上，从而得到六氟化钨。
氟化制造方法纯化

[发明专利]一种六氟化钨废液的综合利用方法-CN202110940294.6有效
发明人：朱姜涛;范娜;彭立培;张雷;苏子杰;吕随强 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种六氟化钨废液的综合利用方法，包括以下步骤：S1、向电解槽中加入废液和导电剂，形成电解液；S2、在温度为‑15℃～25℃，电压为6V～8.5V的条件下，阳极得到氟气，阴极得到金属钨；S3、电解得到的氟气与金属钨反应可以得到六氟化钨产品。本发明提供的电化学方法，能安全有效的将六氟化钨废液进行无害化处理，操作简便、成本低、适宜进行规模化应用。
一种氟化废液综合利用方法

[发明专利]一种五氯化钨的制备及纯化方法-CN202110992161.3有效
发明人：马建修;靖宇;杜文东 -专利权人：福建福豆新材料有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明提出一种五氯化钨的制备及纯化方法，涉及五氯化钨提纯技术领域。上述五氯化钨的制备及纯化方法包括以下步骤：预处理：将钨粉放置在上层，六氯化钨设置在下层；氯化反应：将氯气通入过量的所述钨粉表面反应制得五氯化钨粗品；纯化反应：将所述五氯化钨粗品加热至280‑300℃进行升华，再进行凝华制得高纯五氯化钨。上述五氯化钨的制备及纯化方法采用过量钨粉、氯气作为原料，六氯化钨为下层粉体保护层制备五氯化钨，再利用升华炉进行纯化，制备高纯度五氯化钨。
一种氯化制备纯化方法

[发明专利]一种二级减压精馏提纯氟化氢中六氟化钨的装置及方法-CN202211389653.4在审
发明人：骆华江;张长金;滕鑫胜;郝帅国;杨万吉;宋富财;吕铁峰;苏子杰 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种二级减压精馏提纯氟化氢中六氟化钨的装置，还提供了二级减压精馏提纯氟化氢中六氟化钨的方法，该方法为：将含有六氟化钨的氟化氢原料通入到第一精馏塔中，精馏后通过第一冷却器冷却后，将收集到的气体物质一次精馏氟化氢粗品通入至回收罐；当六氟化钨的纯度≥99vol％时，将六氟化钨粗品通入至第二精馏塔中，二次精馏后的物质通过第二冷却塔冷却后，将收集到的气体物质二次精馏氟化氢粗品通入至粗品罐；当六氟化钨的纯度≥99.99995vol％后，收集到六氟化钨罐中。本发明可以进行连续精馏纯化操作，连续进料，检测合格后连续采出合格的高纯六氟化钨产品。
一种二级减压精馏提纯氟化氢氟化装置方法

[发明专利]超高纯度钨氯化物-CN202211472520.3在审
发明人：伍笑晞;S·V·伊瓦诺维;N·奥斯特瓦尔德 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：可冷凝金属卤化物材料例如但不限于六氯化钨和五氯化钨可以用于在化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺中沉积金属膜或含金属膜。本文描述的是用于纯化六氯化钨和五氯化钨原料的高纯度六氯化钨和五氯化钨系统和方法。提供了纯化的六氯化钨和五氯化钨，其含有小于10ppm，优选小于5ppm，更优选小于1ppm，最优选小于0.5ppm的铁和/或钼，和小于10ppm，优选小于5ppm的所有其它痕量金属总和，其包括但不限于铝、钾和钠。
超高纯度氯化物

[发明专利]一种去除六氟化钨中氟化氢的方法及装置-CN202210214631.8在审
发明人：骆华江;张长金;杨万吉;王占卫;郝帅国;滕鑫胜;李世斌;孙傲奇 -专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明属于含氟精细化工分离技术领域，具体地涉及一种去除六氟化钨中氟化氢的方法及装置。步骤包括：向内含六氟化钨粗品的精馏塔内引入共沸剂，使共沸剂与杂质氟化氢形成共沸物，然后再分离提纯得到高纯六氟化钨。本发明采用共沸精馏的方法，粗品六氟化钨HF杂质含量在10％～50％，可获得纯度在99.99995％、杂质HF的体积百分数≤0.2×10‑6的高纯六氟化钨，同时解决了粗品气纯度的局限。
一种去除氟化氟化氢方法装置

[发明专利]一种高纯六氟化钨连续纯化方法-CN201910769178.5有效
发明人：张琴;张长金;杨万吉;王占卫;彭立培;张帅;李丹丹;胡帅;王志民;谢兵飞 -专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯六氟化钨连续纯化方法，属于含氟精细化工分离技术领域。该方法先经过低温纯化塔凝华成固体排出杂质气体，再通过调控精馏工艺参数经过高效精馏获得纯度99.9999vol％的六氟化钨。本发明所述方法能够实现对于纯度在30vol％以上的六氟化钨粗品气进行纯化，使用范围广，可操作性强，收率高，成本低，效率高，易于规模化生产。
一种高纯氟化连续纯化方法

[实用新型]一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置-CN202023118688.3有效
发明人：林坤;王少波;张长金;马朝选;王亚峰;白雪萍;秦海庆;杨万吉 -专利权人：中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： C01G41/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，属于六氟化钨制备技术领域。所述装置包括回收罐、流化床反应器、吹扫气管、冷凝器、收集罐、压缩机、缓冲罐、含氟混合气罐以及进料机构。六氟化钨制备前，在流化床反应器中匀气盘作用下，吹扫气体可均匀分吹出，吹扫气体将流化床反应器内部进行吹扫并抽真空，制备六氟化钨时，接料盘可避免钨粉沉积在流化床反应器底部无法参与反应，保证钨粉充分反应，并且利用过滤盘将钨粉过滤，避免钨粉随着气体进入第一管道内部，提高了原料的利用率，也使得生成的六氟化钨纯度高，六氟化钨制备后，利用吹扫气管的吹扫气体进行脉冲式反吹，使附在过滤盘上的钨粉被吹下，回收罐进行回收，减少物料浪费。
一种提高原料利用率氟化制备装置

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