[实用新型]机械夹持机械手

说明书

本实用新型提供一种机械夹持机械手，包括壳体、气缸、连接轴、夹持座、夹紧块、固定座、第一导向夹持块和第二导向夹持块；所述壳体可转动的设置在机械手上端；所述气缸固定的安装在所述壳体内部；所述连接轴可伸缩的设置在所述壳体内；所述气缸的活塞杆与所述连接轴连接，所述连接轴的另一端与所述夹持座固定，所述气缸的活塞杆的伸缩运动带动所述夹持座移动。本实用新型结构简单，设计非常巧妙，夹持方便，高速搬运晶片时，不会造成晶片滑落了；将晶片通过机械夹持的方式固定在机械手上，而且能实现快速检测晶片运输过程中有无掉落，防止晶片掉落损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种机械夹持机械手。

背景技术

在半导体晶圆的制造工艺中，为了减少各环节人工搬运的影响，各种设备，以及设备与设备之间，都需要采用晶片自动传送的方式，在机台与机台之间，以及机台内部各单元之间交接晶片，一般在机械手上设置末端执行器，现有的末端执行器采用真空吸附的方式，结构复杂，加工难度大，夹持不便，高速搬运晶片时，容易造成晶片滑落碎片。

实用新型内容

要解决的技术问题

本实用新型要解决的问题是提供一种机械夹持机械手，以克服现有技术中，结构复杂，加工难度大，夹持不便，高速搬运晶片时，容易造成晶片滑落碎片的缺陷。

技术方案

为解决所述技术问题，本实用新型提供一种机械夹持机械手，包括壳体、气缸、连接轴、夹持座、夹紧块、固定座、第一导向夹持块和第二导向夹持块；所述壳体可转动的设置在机械手上端；所述气缸固定的安装在所述壳体内部；所述连接轴可伸缩的设置在所述壳体内；所述气缸的活塞杆与所述连接轴连接，所述连接轴的另一端与所述夹持座固定，所述气缸的活塞杆的伸缩运动带动所述夹持座移动；两个所述夹紧块分别设置在所述夹持座的一端两侧，所述夹紧块用于夹紧晶片；所述固定座一端与所述壳体固定；所述第一导向夹持块和第二导向夹持块对称的设置在所述固定座上；被夹持的晶片设置在所述第一导向夹持块和第二导向夹持块之间的空腔内；所述固定座下端面与所述夹持座上端面贴合。

优选的，所述机械夹持机械手还包括连接块、直线轴承、第一固定块和第二固定块；所述气缸的活塞杆与所述连接轴通过所述连接块连接，所述连接块一端与所述气缸的活塞杆固定，另一端与所述连接轴固定；所述直线轴承与垫片配合设置在所述壳体的前端内部腔体内；所述第一固定块固定安装在所述壳体的前端，将所述直线轴承固定住；所述第二固定块固定安装在所述夹持座的另一端；所述连接轴与所述直线轴承滑动连接，所述连接轴穿过所述直线轴承及第一固定块与所述第二固定块固定；所述第一固定块与所述连接轴间隙配合。

优选的，所述机械夹持机械手还包括限位块，所述限位块穿过所述夹持座与所述固定座固定，所述夹持座上设置有与所述限位块配合的通孔，所述夹持座的底面且位于所述通孔的两侧设置有与所述限位块配合的滑槽。

优选的，所述限位块的形状为凸字形。

优选的，所述第二导向夹持块上还设置有用于检测晶片是否落到底部的真空检测口，所述第二导向夹持块内设置有连接通道，所述连接通道的另一端与所述气管接头连接，所述气管接头的另一端通过连接管与真空压力开关连接，所述真空压力开关设置在所述机械手的箱体上。

优选的，所述第一导向夹持块和第二导向夹持块的外部结构相同，所述第二导向夹持块的斜面角度α为45-60度。

优选的，所述斜面角度α优选50度。

优选的，所述夹紧块形状呈L形。

优选的，所述壳体上还设置有与所述壳体盖合的端盖。

有益效果为：本实用新型的机械夹持机械手，结构简单，设计非常巧妙，夹持方便，高速搬运晶片时，不会造成晶片滑落了；将晶片通过机械夹持的方式固定在机械手上，而且能实现快速检测晶片运输过程中有无掉落，防止晶片掉落损坏。